几种ITO靶材第二相的分离和特征对比研究

以来自不同氧化铟锡(ITO)靶材生产企业(编号为进口A、进口B、国产A、国产B、自制A、自制B)的靶材为对比试样,通过将各试样粉碎、过筛和王水腐蚀的方法分离并提取出各靶材的腐蚀产物,本文对腐蚀产物的剩余量、显微形貌、物相组成、失氧率等进行了观察和测试,并进行分析和对比。结果表明:进口靶材晶内小颗粒倾向于聚集、合并,表现为以60~90 nm小颗粒聚集而成的200 nm以上的团簇,而其他靶材小颗粒独立性更强;腐蚀后产物为近等轴状的第二相In4Sn3O12或近等轴状与片状的In4Sn3O12和In2SnO5混合体;各靶材试样的腐蚀量均达到了90%左右,进口靶材试样腐蚀后的第二相余量更多,且加热后第二相粉末出现了1.3%~1.5%的增氧,而其他靶材的增氧率均在1%以下;计算发现,进口靶材的Sn和O含量均略低于国产靶材和自制靶材。