激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计

设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ;理论分析了检测探针振动的方法 ;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法 ;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统 ,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响 ;对系统误差进行了分析。

激光双法布里—珀罗干涉纳米测量系统的理论分析

本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时控制处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统 ,描述了该系统的工作原理 ,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ,分析了轻拍式探针的振动模型 ,给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。

激光双法布里——珀罗干涉纳米测量系统的理论分析

本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统,描述了该系统的工作原理,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础,分析了轻拍式探针的振动模型。