氧化锆基片式NO_x气体传感器的研制

采用具有自主知识产权的制备工艺流程,制备了氧化锆基NOx气体传感器。首先配制了性能良好的5mol%-ZrO2浆料,流延成型得到了氧化锆陶瓷素坯基片,经过剪裁、冲孔、开槽、丝网印刷等工艺,制备了传感器素坯,经过1450℃2h烧结得到了氧化锆基NOx传感器。应用线性伏安法初步测试了该NOx气体传感器的性能。制备的NOx气体传感器具有良好的NOx气体响应性能。初步性能测试结果表明,传感器的电流值和NO2气体浓度之间存在着强的线性相关性,线性相关系数>99.27%,电流值在0.136A^0.142A之间,传感器的线性范围为:200ppm^2000ppm。