期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
光罩清洗的流程以及优化
1
作者 肖林峰 《科技创新导报》 2016年第36期91-92,共2页
光罩清洗的流程以及优化,需要在实际生产运用中来完善,要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数,在各种工艺清洗时的时间和MASK Stage的转速来缩短清洗光罩的时间,而这个参数需要在不断地实验中完善。该文针对目前液晶面板在... 光罩清洗的流程以及优化,需要在实际生产运用中来完善,要保证在不影响清洗能力的情况下来优化各个工艺参数,在各种工艺清洗时的时间和MASK Stage的转速来缩短清洗光罩的时间,而这个参数需要在不断地实验中完善。该文针对目前液晶面板在正常生产的过程中光罩(MASK)日常清洗的流程及工艺,介绍了目前光罩清洗机中使用的几种主要的清洗工艺,清洗光罩时需根据不同原因来选择所需要的工艺来清洗,以及对清洗工艺的优化。 展开更多
关键词 光罩 光罩清洗机 曝光机
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部