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退火对硫化后的P^+型InP表面性能的影响 被引量:1
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作者 庄春泉 汤英文 龚海梅 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期894-896,共3页
文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况。
关键词 光致发光 X射线光电子能谱 硫化
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