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圆片规模集成电路光学互连的实现 被引量：1
1
作者 祖继锋 耿完祯 +1 位作者 洪晶 陈学良 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1993年第10期36-39,共4页
本文评述了光互连技术在圆片规模集成电路中的应用现状.并据具体的工艺实施指出了存在的问题及将来的解决办法.
关键词 圆片集成电路 光学互连
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