新型复合分子泵结构设计理论的研究

本文深入分析了现代复合分子泵结构特点及存在的主要问题。在结构设计理论中提出了保证涡轮筒式复合分子泵工作安全性和抽气特性的四种结构改进方法，对复合分子泵的国产化及应用推广具有重要意义。

筒式牵引分子泵离心变形理论分析计算及其简化算法

本文分析了转子离心变形量计算在牵引分子泵设计中的重要性，给出了有限单元计算和经典力学计算两种方法，证明了两种计算方法的等效性，对指导牵引分子泵设计具有重要意义。

变截面矩形槽牵引分子泵二维抽气理论的研究

本文对牵引分子泵抽气机理进行了深入分析，考虑了通道返流和工作间隙泄漏对泵抽气性能的影响。采用有限差分法对通道内气体分子宏观运动速度分布进行了计算，提 出了牵引分子泵二维抽气理论。

因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用

将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。

薄膜形成的一种新理论

目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生长和外延生长的物理条件,推导出有关公式;讨论的结论与文献积累的实验结果定性相符,能使有关现象得到解释。但薄膜的形成问题极其复杂,有关材料和工艺问题都有待深入研究。

用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统

本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。

两种螺旋通道结构牵引分子泵的性能比较

这篇文章主要介绍了计算两种牵引分子泵抽气特性的理论模型。利用模型可以模拟牵引分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。

俄歇定量分析基体效应校正因子的获得

本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。

验证键应弛豫模型的一个特例(英文)

在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Ｓｉ单晶（金刚石结构）沿其自然解理面（１１１）面解理所需的能量。结果表明，单位１×１面积所需的解理能正好等于晶体中Ｓｉ原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近提出的键应弛豫模型。

氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究

利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜，运用多种分析手段（AES，XPS，SEM，XRD等）研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本原因。

用STM研究金膜表面超微粒的结构和行为

在大气环境中,用扫描隧道显微镜（STM）研究了云母（001）基底上真空蒸积的金（Au）薄膜,厚约50um.这类样品的STM图像显示,其表面基本平滑,但存在一些大小各异的超微粒子,在室温下既有随机运动,又有粒子的生长、接合和消失.观察到Au超微粒子表面的周期结构.