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Mo沉积成膜质量与磁控溅射条件间关系的STM研究 被引量:7
1
作者 黎刚 杨海强 +1 位作者 王俊 崔明启 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第4期453-454,共2页
利用扫描遂道显微镜(STM)和X射线小角衍射(SAXRD)研究了几种经常使用的直流磁控溅射条件(包括:Ar气压强06Pa、溅射电流100mA、200mA及Ar气压强04Pa、溅射电流100mA三种条件)下所沉积的... 利用扫描遂道显微镜(STM)和X射线小角衍射(SAXRD)研究了几种经常使用的直流磁控溅射条件(包括:Ar气压强06Pa、溅射电流100mA、200mA及Ar气压强04Pa、溅射电流100mA三种条件)下所沉积的Mo单层薄膜的质量及相同溅射条件下不同溅射时间(35s到220s)对成膜质量的影响。实验的结果表明:降低Ar气压强提高溅射电流(即提高氩离子加速电压)都会使形成的薄膜更致密表面更光滑。相同条件下随沉积时间的增加,薄膜的晶粒线度随之增大,晶粒间界变得明显粗糙度变大。几乎所有的样品都观察到晶粒生长有明显的优先取向。 展开更多
关键词 磁控溅射 STM 沉积成膜
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新型复合分子泵结构设计理论的研究 被引量:8
2
作者 王晓冬 巴德纯 +3 位作者 杨乃恒 朱岳 王孝珍 庞世瑾 《真空》 CAS 北大核心 1993年第3期26-31,共6页
本文深入分析了现代复合分子泵结构特点及存在的主要问题。在结构设计理论中提出了保证涡轮筒式复合分子泵工作安全性和抽气特性的四种结构改进方法,对复合分子泵的国产化及应用推广具有重要意义。
关键词 分子泵 结构设计 真空泵
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筒式牵引分子泵离心变形理论分析计算及其简化算法 被引量:3
3
作者 王晓冬 巴德纯 +3 位作者 杨乃恒 朱岳 王孝珍 庞世瑾 《真空》 CAS 北大核心 1992年第1期8-14,共7页
本文分析了转子离心变形量计算在牵引分子泵设计中的重要性,给出了有限单元计算和经典力学计算两种方法,证明了两种计算方法的等效性,对指导牵引分子泵设计具有重要意义。
关键词 分子泵 牵引型 计算方法 变形
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变截面矩形槽牵引分子泵二维抽气理论的研究 被引量:1
4
作者 王晓冬 巴德纯 +3 位作者 杨乃恒 朱岳 王孝珍 庞世瑾 《真空》 CAS 北大核心 1992年第4期1-7,共7页
本文对牵引分子泵抽气机理进行了深入分析,考虑了通道返流和工作间隙泄漏对泵抽气性能的影响。采用有限差分法对通道内气体分子宏观运动速度分布进行了计算,提 出了牵引分子泵二维抽气理论。
关键词 分子泵 牵引型 抽气 电真空
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薄膜形成的一种新理论 被引量:1
5
作者 吴全德 薛增泉 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第5期363-370,共8页
目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生... 目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生长和外延生长的物理条件,推导出有关公式;讨论的结论与文献积累的实验结果定性相符,能使有关现象得到解释。但薄膜的形成问题极其复杂,有关材料和工艺问题都有待深入研究。 展开更多
关键词 薄膜物理学 沉积 成核 生长
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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统
6
作者 高鸿钧 刘惟敏 +3 位作者 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期204-210,共7页
本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS... 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。 展开更多
关键词 ICB TOFMS 金属超微粒子 薄膜
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两种螺旋通道结构牵引分子泵的性能比较
7
作者 巴德纯 杨乃恒 +3 位作者 王晓冬 王孝珍 朱岳 庞世谨 《真空》 CAS 北大核心 1995年第3期22-25,共4页
这篇文章主要介绍了计算两种牵引分子泵抽气特性的理论模型。利用模型可以模拟牵引分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。
关键词 分子泵 过渡流 研究
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俄歇定量分析基体效应校正因子的获得
8
作者 杨新菊 陆明 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期180-185,共6页
本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结... 本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 定量分析 合金 表面
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因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用 被引量:2
9
作者 李敏 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期13-20,共8页
将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探... 将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 氧化钽 因子分析
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验证键应弛豫模型的一个特例(英文)
10
作者 赵玉峰 薛增泉 庞世瑾 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期119-124,共6页
在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Si单晶(金刚石结构)沿其自然解理面(111)面解理所需的能量。结果表明,单位1×1面积所需的解理能正好等于晶体中Si原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近... 在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Si单晶(金刚石结构)沿其自然解理面(111)面解理所需的能量。结果表明,单位1×1面积所需的解理能正好等于晶体中Si原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近提出的键应弛豫模型。 展开更多
关键词 紧束缚 结合能 键应弛豫模型 单晶
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氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究
11
作者 文全胜 潘孝仁 +5 位作者 戴慕仉 陆元成 王声乐 张强基 张勇 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期356-362,共7页
利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜,运用多种分析手段(AES,XPS,SEM,XRD等)研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质,讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系,解释谱线加宽的基本... 利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜,运用多种分析手段(AES,XPS,SEM,XRD等)研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质,讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系,解释谱线加宽的基本原因。 展开更多
关键词 纳米薄膜 俄歇电子能谱 氧化锌 制备
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数字纳米云纹法的实验研究
12
作者 刘战伟 谢惠民 +5 位作者 方岱宁 戴福隆 郭海明 刘洪 高鸿钧 薛其坤 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期9-12,共4页
提出了一种新的测量物质纳米级变形的云纹方法———数字纳米云纹法,在测量过程中,借助于各种电镜,采用具有周期结构的晶体物质的晶格或一些过渡金属、贵金属材料规则的表面原子重构作为试件栅。该试件栅的节距可达到亚纳米的量级,使得... 提出了一种新的测量物质纳米级变形的云纹方法———数字纳米云纹法,在测量过程中,借助于各种电镜,采用具有周期结构的晶体物质的晶格或一些过渡金属、贵金属材料规则的表面原子重构作为试件栅。该试件栅的节距可达到亚纳米的量级,使得该方法可以在纳观范围内测量物体的面内位移,应变。参考栅采用计算机绘制的正弦型数字栅。详细地论述了该数字栅的制作方法,数字纳米云纹条纹的形成机理,及位移、应变的测量方法,云纹条纹的相移方法和倍增方法。 展开更多
关键词 数字纳米云纹 晶格 数字栅 重构面 变形测量 实验研究
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低温高效甲醇水液相重整产氢催化剂的开发与研究 被引量:3
13
作者 林丽利 葛玉振 +3 位作者 周武 温晓东 石川 马丁 《中国科学基金》 CSSCI CSCD 北大核心 2018年第4期376-381,共6页
氢气化学性质活泼,如何实现氢气的高效储存和输运是限制整个氢能源体系发展的瓶颈。一种有效解决上述难题的方法是将氢气存储于高的氢质量含量液体燃料如甲醇中,在需要时通过水和甲醇的液相重整反应,原位释放氢气。而这一过程能够实现... 氢气化学性质活泼,如何实现氢气的高效储存和输运是限制整个氢能源体系发展的瓶颈。一种有效解决上述难题的方法是将氢气存储于高的氢质量含量液体燃料如甲醇中,在需要时通过水和甲醇的液相重整反应,原位释放氢气。而这一过程能够实现的关键在于高效甲醇水重整催化剂的开发。针对这一挑战,本研究团队有目的性地设计合成了一种铂-碳化钼(Pt/α-MoC)双功能催化剂,在190℃时,催化产氢速率高达18 046molH2/(molPt*h),活性较传统铂基催化剂提升了两个数量级。通过对催化剂的结构和催化反应机理详细的研究表明,载体α-MoC与Pt之间存在着强的相互作用,在较低担载量时Pt在α-MoC表面呈原子级分布状态,使贵金属Pt的原子利用率达到最高。Pt/α-MoC表面甲醇水液相重整是一个双中心反应。其中,甲醇和水的氧氢键解离发生在α-MoC载体上,原子级分散的Pt催化甲醇的碳氢键解离;甲醇解离产物CO在Pt-Mo界面处与高表面覆盖度的羟基发生高效水汽迁移反应生成CO2。该研究成果为氢气的低温制备、高效存储运输提供了全新的思路。 展开更多
关键词 单原子铂-碳化钼 低温甲醇水重整 原位产氢 氢气制备与存储
原文传递
用STM研究金膜表面超微粒的结构和行为
14
作者 刘惟敏 王东生 +2 位作者 马自力 薛增泉 吴全德 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1992年第S1期105-107,111,共0页
在大气环境中,用扫描隧道显微镜(STM)研究了云母(001)基底上真空蒸积的金(Au)薄膜,厚约50um.这类样品的STM图像显示,其表面基本平滑,但存在一些大小各异的超微粒子,在室温下既有随机运动,又有粒子的生长、接合和消失.观察到Au超... 在大气环境中,用扫描隧道显微镜(STM)研究了云母(001)基底上真空蒸积的金(Au)薄膜,厚约50um.这类样品的STM图像显示,其表面基本平滑,但存在一些大小各异的超微粒子,在室温下既有随机运动,又有粒子的生长、接合和消失.观察到Au超微粒子表面的周期结构. 展开更多
关键词 STM 金薄膜 云母 超微粒子
全文增补中
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