氪氖电子混合气体中杂质含量的测定

建立了一种氪氖电子混合气体中微量H_(2)、O_(2)、N_(2)、CH_(4)、CF_(4)、CO、CO_(2)的分析方法。采用多阀切割和多色谱柱分离的氦离子化气相色谱仪一次进样实现了氪氖电子混合气体中杂质的分离检测。经过方法验证,证明该方法能够达到较高的准确度和精密度。

6N电子级氘气的制备与纯化技术研究

电子级氘气在集成电路制造的高温退火工艺中起到关键作用,高端制程工艺要求其纯度高达6N。提出了完整的6N氘气电解制备与纯化技术路线,包括:(1)设计出高效FeNi@ClBC OER催化剂,性能显著优于商用催化剂,提高了催化效率并降低整体能耗;(2)提出了电解阳极端氧气气提脱除重水中氮气等杂质的工艺流程,重水杂质的减少降低了氘气纯化的难度;(3)提出了深度脱氧、脱水工艺流程,筛选出最佳脱氧催化剂和脱水吸附分子筛并对工艺参数进行了优化,实现产品中杂质氧和水含量(体积分数)分别低于1×10^(-8)和1.65×10^(-7)的目标。实验得到的超高纯氘气产品指标达到了6N,满足先进制程集成电路制造需求,为低成本生产超高纯氘气提供了参考。

集成电路用电子特气合成与纯化技术研究进展

电子特气在集成电路制造过程的多个关键工艺步骤中发挥着重要作用。为确保最终的集成电路产品具备良好的电性指标及良品率,要求电子特气具有很高的产品纯度和严苛的质量一致性。然而,电子气体种类繁多,关键杂质种类及含量标准各不相同,因此各种电子特气的合成及纯化手段存在较大差异。文中重点关注市场需求量大的三氟化氮、六氟化钨和六氟丁二烯等产品,系统总结在电子特气合成与纯化过程中相关合成与纯化技术的研究进展及共性技术问题,以期为集成电路制造用电子特气的行业发展与技术进步提供参考和借鉴。

六氟丁二烯的合成研究进展

在大规模集成电路制程中,六氟丁二烯作为蚀刻剂使用。与传统蚀刻剂相比,六氟丁二烯蚀刻速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好。对六氟丁二烯的合成方法进行归纳和总结,为高纯六氟丁二烯的研发和生产提供参考。

电氟化在有机合成中的应用及其环境影响评估

电氟化作为重要的有机合成方法,在制药、材料等领域具有广泛应用。然而,电氟化过程中产生的废物和环境影响日益受到关注,如何降低其不良影响成为当前研究的热点。本文旨在探讨电氟化在有机合成中的应用及其环境影响评估,并提出相应的减少不良影响的可行策略。对电氟化技术的基本原理和应用进行概述,然后针对环境问题,分析了优化反应条件、开发替代性反应路径、强化废弃物处理和回收利用等有效策略。通过理论阐述和案例展开,探讨了如何在有机合成中实现电氟化技术的可持续发展。

异质性环境规制与高新技术企业共聚交互因果关系研究——基于多空间收敛交叉映射技术

异质性环境规制与高新技术企业共聚之间存在复杂而紧密的交互因果关系,如何加快两者融合发展,构建区域经济环境协调优势值得进一步研究。本文利用大数据分析方法,基于国内2011—2019年异质性环境规制与高新技术企业共聚的省域面板数据,采用多空间收敛交叉映射模型,在区域间高新技术企业共聚水平测度基础上,从“被共聚”和“向共聚”两个维度实证检验了高新技术企业共聚与不同类型环境规制间的交互因果关系。研究结果表明,不同类型环境规制与高新技术企业共聚之间存在的耦合关系各不相同,其中,命令控制型环境规制一方面受高新技术企业“向共聚”带来的促进作用,另一方面又将促进高新技术企业“被共聚”水平提升,且后者的影响程度略高于前者,存在显著双向因果关系;而市场激励型环境规制仅受高新技术企业“向共聚”的正向促进作用,存在显著单向因果关系;但公众参与型环境规制与高新技术企业共聚两者间不存在相互影响,无显著因果关系。本文聚焦异质性环境规制与高新技术企业共聚间的良性互动,为客观评价高新技术企业共聚微观绩效提供经验证据,为进一步在开放中实现经济与环境协同发展提供有益的政策启示。

离子色谱法测定三氟甲磺酸中氟离子、氯离子和硫酸根离子的含量

建立了离子色谱同时测定三氟甲磺酸中氟离子、氯离子和硫酸根含量的检测方法。结果表明采用(4.53 mmol/L Na_(2)CO_(3)+1.43 mmol/L NaHCO_(3))+乙腈作为淋洗液,且无机试剂和有机溶剂体积配比为7∶3,流速为1.00 mL/min,柱温为30℃的条件下分离效果最好。在不同的添加水平下,加标回收率为99.40%~101.07%。该分析方法操作简单、分析速度快、灵敏度高,可应用于三氟甲磺酸中氟离子、氯离子和硫酸根的定性和定量分析。

电子特气在低温干法刻蚀中的应用与发展

介绍了低温干法刻蚀技术的技术原理、应用和进展,探讨了不同刻蚀气体和工艺参数对低温干法刻蚀工艺的影响。

气相色谱法测定六氟丁二烯中的微量水分

提出了一种六氟丁二烯中微量水分的分析方法,采用配备水分转化器的氢火焰离子化检测器的气相色谱仪实现了水分的快速、准确测定。

气相色谱法测定高纯溴化氢中的微量杂质

提出了一种溴化氢中微量气体杂质的分析方法,采用配备反吹气路的氦离子化检测器的气相色谱仪实现了高纯溴化氢中微量H_(2)、O_(2)、N_(2)、CO、CH_(4)及CO_(2)的分离检测。

高纯电子混合气的制备

总结了高纯电子混合气在质量和制备技术方面的最新进展。由于气体纯化和充装技术的进步,使混合气纯度更高,浓度相对偏差要求更低。在制备方面,自动化和批量化在重量法、压力法和质量流量比法等配气方法上的应用都有较大进展。

基于中介效应的煤炭产业跨区转移对居民健康影响分析

基于2009—2021年16个煤炭资源型区域,聚焦于煤炭产业、生态环境与居民健康之间的关系,利用熵值法和中介效应模型对煤炭产业跨区转移给居民健康带来“惊喜”还是“隐忧”进行实证分析。研究发现:①煤炭产业经济发展不利于居民健康水平的提升,且呈倒“U”型的非线性关系;②生态环境在煤炭产业与居民健康关系中发挥部分中介作用;③煤炭产业对居民健康水平的非线性影响和生态环境的中介效应因煤炭跨区转移行为而存在差异,煤炭产业在跨区转入地区整体上促进了居民健康水平的提升,呈“U”型的非线性关系,而中介效应在煤炭跨区转入地区不再显著。

电位法定量分析五氟化碘的研究

区别于目前的行标法,本实验使用电位法对五氟化碘进行定量分析。通过一步法将待检样完全还原为I–和F–,采用电位法分别检测溶液中I–和F–含量。新方法操作步骤少,化学试剂消耗少,操作过程安全简单,减小了实验结果的误差,提高了分析结果的重现性。