钛基上含钽涂层的热分解法制备

以金属钽层作为钛阳极的中间层可提高阳极的使用寿命,而热分解法制备涂层操作方便、工艺简单且成本低。考察了五氯化钽正丁醇溶液在氮气(≥99.99%)中的热分解过程,并以五氯化钽正丁醇溶液为先驱体,在氩气(≥99.99%)中采用涂覆烧结的热分解法在钛基体上制备了含钽涂层,考察了热分解温度、涂覆次数对涂层表面形貌、相结构和结合力的影响。结果表明:五氯化钽正丁醇溶液在300℃时已基本分解完全,热分解最终产物含钽、氧和少量残余的氯,采用高纯惰性气氛可减少钽的氧化;钛基上含钽涂层表面呈龟裂状;涂层的相结构受烧结温度和涂覆次数的影响,主要为Ta,TaO2或Ta,TaO2,Ta2O5;热分解温度对涂层结合力的影响较大,而涂层厚度对结合力的影响相对较小。