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题名先进半导体制造之内建式可靠性数据分析系统
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作者
曾繁中
简维廷
龚斌
陆黎明
马瑾怡
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机构
中芯国际集成电路制造有限公司可靠性工程处
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出处
《中国集成电路》
2004年第6期62-65,72,共5页
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文摘
开发内建式可靠性(BIR)数据库系统,使我们能利用所累积的早期信息减少市场风险和缩短产品开发的时间。作为一个系统,其包含了所有可靠性资料和相关的信息,而且能够帮助工程师做一些相关的资料分析及研究。因此开发这样一个数据库系统,使我们能够在新的技术产品开发前进行初始化评估;在设计发展的过程中,尽早地发现可能的改进和不稳定的因素,从而大大降低生产风险,缩短生产周期,也有效地压缩了成本。本文从三个方面来具体介绍这个系统。首先介绍这个系统的框架建立;第二部分介绍系统的功能特点,发展目标及优势;最后介绍系统的应用及前景。
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关键词
内建式
可靠性
数据库
系统架构
半导体制造
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
TP311.13
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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