MEMS悬臂梁探针的结构与材料研究

针对当前晶圆测试探针常用的两种金属材料镍和钨,采用COMSOL多物理场仿真软件对微机电系统(MEMS)悬臂梁探针在承受20 mN测试力时,悬臂梁结构的最大应力和针尖位移进行分析。仿真结果表明:两种材料悬臂梁结构的最大应力都发生在靠近悬臂梁固支端的表面,大小基本相同。但镍探针位移要明显大于钨探针。在此结果的基础上,对梁结构进行改进,又提出了一种新型的梯形悬臂梁结构,在承受相同测试力时,针尖位移增加20%。利用这一结构,在保证力学性能的同时,可以缩小悬臂梁尺寸,以满足更为密集管脚芯片的测试需求。

基于改进的迈克尔逊干涉仪对热变形特性的研究

在建筑工程、机械装配和电子工业等部门的实际作业中,金属材料热膨胀会产生极大的影响,对热膨胀微小变化量的精确测量是非常重要的.该实验对迈克尔逊干涉仪进行适当的改进,使整套装置具有直接和间接测量热膨胀微小变化量的能力.通过手机拍摄观察屏上干涉圆环的变化过程,将视频图像输入基于MATLAB自主编写的计算分析程序中,在运行程序之后得到准确的干涉圆环变化量,从而反推出金属棒在这一过程中产生的微小变化量.这一实验扩展了迈克尔逊干涉仪在测量热膨胀微小变化量方面的应用,简化了数据处理过程,并且在教学科研领域均有一定的应用前景。

劈裂的硅长方体超表面中toroidal偶极的调控研究

文章利用有限元法研究了硅介质超表面的光学性质.研究结果表明,在硅长方体和劈裂硅长方体构成的超表面中激发了toroidal偶极共振,并且随着间隙宽度的增加,toroidal偶极共振快速增强.因此通过调节间隙宽度可以实现对toroidal偶极共振的调控.

传感器技术在杨氏模量测量中的研究与实践

采用拉伸法测量金属丝的杨氏模量关键在于精准的测量金属丝受力产生的形变.自制杨氏模量测量仪在测量金属丝的受力大小和微小形变时采用传感器技术,传感器将得到的金属丝的受力大小和形变转化为电信号,再通过数字量显现,实现拉伸法测量金属丝的杨氏模量的智能化.