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题名磁控溅射生长SiC薄膜的拉曼光谱研究
被引量:2
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作者
毛旭
陈长青
周祯来
杨宇
吴兴惠
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机构
云南大学化学与材料工程学院材料系
北京信息工程学院传感技术研究中心
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期20-22,共3页
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基金
云南自然科学基金资助项目(青年基金:k1010265)
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文摘
用射频磁控溅射法在Si(100)和玻璃衬底上制备出衬底温度分别为300,450,600℃的碳化硅薄膜,并对薄膜进行了拉曼光谱和原子力显微镜测试分析。结果表明,用溅射法在玻璃衬底上生长出微晶SiC(μc-SiC)薄膜和在Si(100)衬底上生长出立方碳化硅(β-SiC)薄膜。并且薄膜材料的结晶度随着衬底温度的升高而改善。
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关键词
半导体技术
SIC薄膜
μc—SiC
磁控溅射
拉曼光谱
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Keywords
semiconductor technology
SiC thin films
μc-SiC
magnetron sputtering
Raman spectra
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
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题名黑色颜料的制备及其性能的研究
被引量:4
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作者
徐杰
靳映霞
王庆辉
张瑾
柳清菊
吴兴惠
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机构
云南大学化学与材料工程学院材料系
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出处
《中国陶瓷》
CAS
CSCD
2004年第2期50-52,共3页
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基金
国家863计划项目(2002AA327090)
云南省中青年学术带头人后备人才项目(2000YP29)
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文摘
利用Co-Cr-Mn-Fe四元系颜料开发出陶瓷用黑釉配方,并在生产中试用,有烧成温度低,颜料与基釉的适应性好,黑釉烧成的合格率高等特点。
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关键词
黑釉
适应性
烧成温度
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Keywords
Black glaze
adaptability
sintering temperatur
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分类号
TQ174.45
[化学工程—陶瓷工业]
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