期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
磁控溅射生长SiC薄膜的拉曼光谱研究 被引量:2
1
作者 毛旭 陈长青 +2 位作者 周祯来 杨宇 吴兴惠 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期20-22,共3页
用射频磁控溅射法在Si(100)和玻璃衬底上制备出衬底温度分别为300,450,600℃的碳化硅薄膜,并对薄膜进行了拉曼光谱和原子力显微镜测试分析。结果表明,用溅射法在玻璃衬底上生长出微晶SiC(μc-SiC)薄膜和在Si(100)衬底上生长出立方碳化硅... 用射频磁控溅射法在Si(100)和玻璃衬底上制备出衬底温度分别为300,450,600℃的碳化硅薄膜,并对薄膜进行了拉曼光谱和原子力显微镜测试分析。结果表明,用溅射法在玻璃衬底上生长出微晶SiC(μc-SiC)薄膜和在Si(100)衬底上生长出立方碳化硅(β-SiC)薄膜。并且薄膜材料的结晶度随着衬底温度的升高而改善。 展开更多
关键词 半导体技术 SIC薄膜 μc—SiC 磁控溅射 拉曼光谱
下载PDF
黑色颜料的制备及其性能的研究 被引量:4
2
作者 徐杰 靳映霞 +3 位作者 王庆辉 张瑾 柳清菊 吴兴惠 《中国陶瓷》 CAS CSCD 2004年第2期50-52,共3页
利用Co-Cr-Mn-Fe四元系颜料开发出陶瓷用黑釉配方,并在生产中试用,有烧成温度低,颜料与基釉的适应性好,黑釉烧成的合格率高等特点。
关键词 黑釉 适应性 烧成温度
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部