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硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感
被引量:
3
1
作者
杨晨
刘锋
+5 位作者
任天令
刘理天
冯海刚
王自惠
龙海波
于军
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期2208-2212,共5页
制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成“SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈”的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容...
制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成“SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈”的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1·75nH、品质因数(Q)为18·5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.
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关键词
CoZrO铁氧体
磁膜结构
射频集成
下载PDF
职称材料
铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析(英文)
被引量:
1
2
作者
任天令
杨晨
+3 位作者
刘锋
刘理天
王自惠
张筱
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期511-515,共5页
针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感...
针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感的L和Q在2GHz处分别提高了17 %和40 %.等效电路分析和测试结果均证明了铁氧体薄膜的引入对增强射频集成微电感性能的作用显著.
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关键词
电感
等效电路
铁氧体薄膜
射频集成电路
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职称材料
题名
硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感
被引量:
3
1
作者
杨晨
刘锋
任天令
刘理天
冯海刚
王自惠
龙海波
于军
机构
清华大学微电子学研究所
华中科技大学电子科学与技术
系
伊利诺理工学院电气与计算机工程系
清华大学电子
工程
系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期2208-2212,共5页
基金
美国自然科学基金资助项目(批准号:0302449)~~
文摘
制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成“SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈”的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1·75nH、品质因数(Q)为18·5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.
关键词
CoZrO铁氧体
磁膜结构
射频集成
Keywords
CoZrO ferrite
magnetic thin-film
RF integration
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析(英文)
被引量:
1
2
作者
任天令
杨晨
刘锋
刘理天
王自惠
张筱
机构
清华大学微电子学研究所
伊利诺理工学院电气与计算机工程系
清华大学电子
工程
系
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期511-515,共5页
基金
美国自然科学基金资助项目(批准号:0302449)~~
文摘
针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感的L和Q在2GHz处分别提高了17 %和40 %.等效电路分析和测试结果均证明了铁氧体薄膜的引入对增强射频集成微电感性能的作用显著.
关键词
电感
等效电路
铁氧体薄膜
射频集成电路
Keywords
inductor
equivalent circuit
ferrite thin-film
RF ICs
分类号
TM277 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感
杨晨
刘锋
任天令
刘理天
冯海刚
王自惠
龙海波
于军
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
下载PDF
职称材料
2
铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析(英文)
任天令
杨晨
刘锋
刘理天
王自惠
张筱
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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