三维激光多普勒测振仪研究

激光测振仪具有非接触测量,时间与空间分辨率高等优点,广泛应用于微机电系统(MEMS)、机床、汽车等行业振动测量。本文综述了三维激光多普勒测振仪国内外研究成果及应用,简要分析其存在的问题及发展趋势。