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VCD模板产生夹水纹的机理及消除办法
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作者 严永保 赖海军 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第S1期155-156,共2页
对VCD模板产生夹水纹的原因进行试验分析,找到了消除夹水纹的生产方法。
关键词 VCD模板 夹水纹 激光光刻
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