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VCD模板产生夹水纹的机理及消除办法
1
作者
严永保
赖海军
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第S1期155-156,共2页
对VCD模板产生夹水纹的原因进行试验分析,找到了消除夹水纹的生产方法。
关键词
VCD模板
夹水纹
激光光刻
下载PDF
职称材料
题名
VCD模板产生夹水纹的机理及消除办法
1
作者
严永保
赖海军
机构
佛山金声电子有限公司
出处
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第S1期155-156,共2页
文摘
对VCD模板产生夹水纹的原因进行试验分析,找到了消除夹水纹的生产方法。
关键词
VCD模板
夹水纹
激光光刻
分类号
O644.1 [理学—物理化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VCD模板产生夹水纹的机理及消除办法
严永保
赖海军
《中山大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
1997
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