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大尺寸单晶金刚石同质连接技术 被引量:5
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作者 舒国阳 Ralchenko V. +11 位作者 Bolshakov A. 刘康 孙明琪 姚凯丽 赵继文 高鸽 刘本建 王伟华 李一村 刘雪冬 代兵 朱嘉琦 《自然杂志》 2019年第2期100-110,共11页
介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径... 介绍了制备人造单晶金刚石的技术途径及发展现状,重点讨论并对比了几种化学气相沉积法(CVD)金刚石制备技术的优缺点,详细阐述了基于微波等离子体CVD (MPCVD)法的同质连接技术——一种突破晶体尺寸限制,实现大尺寸单晶金刚石的有效途径。通过该技术实现了英寸级单晶金刚石晶片的制备,并针对横向生长、界面质量及演化、三维结构连接控制等核心科学技术问题进行了分析和讨论,展望了其在尖端应用领域的发展前景。 展开更多
关键词 人造金刚石 单晶 微波等离子体化学气相沉积 同质连接
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高能非链式放电HF(DF)激光器
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作者 В.В.А 吉禾 《强激光技术进展》 1999年第5期36-39,共4页
在电子学系统极为紧凑的情况下不用专用的气体预电离系统,表明在掺烃(或重氢烃)SF6混合物中实现体自持放电,并在此耻建造高能宽孔径非链式HF(DF)激光器的可能性。在孔径为 ̄15cm,体激活介质为21L的装置上,在电效... 在电子学系统极为紧凑的情况下不用专用的气体预电离系统,表明在掺烃(或重氢烃)SF6混合物中实现体自持放电,并在此耻建造高能宽孔径非链式HF(DF)激光器的可能性。在孔径为 ̄15cm,体激活介质为21L的装置上,在电效率为2.8%和2.2%情况下,分别在HF和DF中获得了144J和115J的振荡能量。 展开更多
关键词 气体激光器 HF激光器 非链式放电
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