47.铜金属化中时间相关介质击穿的物理模型(APhysical Model of Time-Dependent Dielectric Break-down in Copper Metallization)——2003 Interna-tional Reliability Physics Symposium pp.282-286. 研究了铜互连介质击穿的物理模型...47.铜金属化中时间相关介质击穿的物理模型(APhysical Model of Time-Dependent Dielectric Break-down in Copper Metallization)——2003 Interna-tional Reliability Physics Symposium pp.282-286. 研究了铜互连介质击穿的物理模型,评价了关于Cu^+扩散和漂移的通用连通等式,开发了用于预计TDDB寿命的分析表达式。模型预计与不同电场和温度下的实验数据很吻合。寿命与加速应力下的电场指数成正比,与E模型一致。展开更多
41.超薄重新充氧氮化物的漏电流和可靠性评价以及与二氧化硅的比较(Leakage Current and Relia-bility Evaluation of Ultra-thin Reoxidized Nitride andComparison with Silicon Dioxides)——2002 Inter-national Reliability Physic...41.超薄重新充氧氮化物的漏电流和可靠性评价以及与二氧化硅的比较(Leakage Current and Relia-bility Evaluation of Ultra-thin Reoxidized Nitride andComparison with Silicon Dioxides)——2002 Inter-national Reliability Physics Symposium pp.255—267.展开更多
22. 特邀论文:带铝盖铜垫的探测和线焊(InvitedPaper:Probing and Wire Bonding of AluminumCapped Copper Pads)-2002 International Relia-bility Physics Symposium pp. 140-143. 微电子制造已经开始发展并促进了用铜互连为首选金属...22. 特邀论文:带铝盖铜垫的探测和线焊(InvitedPaper:Probing and Wire Bonding of AluminumCapped Copper Pads)-2002 International Relia-bility Physics Symposium pp. 140-143. 微电子制造已经开始发展并促进了用铜互连为首选金属的圆片制造工艺过程。由于裸铜线焊接被认为不是可靠和高产量的工艺过程,因而集成电路制造商在铜的顶部使用了铝盖,以方便焊接。展开更多
文摘47.铜金属化中时间相关介质击穿的物理模型(APhysical Model of Time-Dependent Dielectric Break-down in Copper Metallization)——2003 Interna-tional Reliability Physics Symposium pp.282-286. 研究了铜互连介质击穿的物理模型,评价了关于Cu^+扩散和漂移的通用连通等式,开发了用于预计TDDB寿命的分析表达式。模型预计与不同电场和温度下的实验数据很吻合。寿命与加速应力下的电场指数成正比,与E模型一致。
文摘41.超薄重新充氧氮化物的漏电流和可靠性评价以及与二氧化硅的比较(Leakage Current and Relia-bility Evaluation of Ultra-thin Reoxidized Nitride andComparison with Silicon Dioxides)——2002 Inter-national Reliability Physics Symposium pp.255—267.
文摘22. 特邀论文:带铝盖铜垫的探测和线焊(InvitedPaper:Probing and Wire Bonding of AluminumCapped Copper Pads)-2002 International Relia-bility Physics Symposium pp. 140-143. 微电子制造已经开始发展并促进了用铜互连为首选金属的圆片制造工艺过程。由于裸铜线焊接被认为不是可靠和高产量的工艺过程,因而集成电路制造商在铜的顶部使用了铝盖,以方便焊接。