同轴环状孔阵列表面抗反射特性研究

提出了具有增透抗反特性的同轴环状孔阵列纳米结构,利用时域有限差分法(FDTD算法)分析了其光学特性并给出优化的结构.FDTD模拟结果表明,仅由SiO2单层材料构成的纳米结构,其透过率受材料的吸收特性影响极小,主要受表面面形、环状孔内外半径、深度和周期等结构参量影响.在环状孔阵列结构上采用占空比逐渐增大的设计,能有效增加可见光谱区(400～700 nm)的增透抗反特性.并给出了优化后的设计参数:最小内径50 nm,最大外径150 nm,深度200 nm,周期300 nm,其在可见光谱区的平均透射率大于99.5%,且光波在表面法线的±20°范围内入射时,反射率小于0.6%.