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基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究 被引量:2
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作者 沈佳骏 骆公序 +2 位作者 潘涌 刘中俊 姜兆华 《应用激光》 CSCD 北大核心 2015年第4期493-499,共7页
基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向... 基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片,获得较好的良品率。 展开更多
关键词 纳秒激光器 532nm波长 玻璃切割 工艺参数 切割效果
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