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基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究
被引量:
2
1
作者
沈佳骏
骆公序
+2 位作者
潘涌
刘中俊
姜兆华
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015年第4期493-499,共7页
基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向...
基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片,获得较好的良品率。
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关键词
纳秒激光器
532nm波长
玻璃切割
工艺参数
切割效果
原文传递
题名
基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究
被引量:
2
1
作者
沈佳骏
骆公序
潘涌
刘中俊
姜兆华
机构
上海市
激光
技术研究所
上海市
激光
束精细加工重点
实验室
先进激光应用联合实验室
上海
激光
直接物标溯源工程技术研究中心
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015年第4期493-499,共7页
基金
上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:2013-108)
上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:2014-105)
+1 种基金
上海张江国家自主创新示范区资助项目(项目编号:201309-XH-CHJ-A0-002)
上海市经济和信息化委员会专项资助项目(项目编号:13XI-06)
文摘
基于EdgeWave GmbH 532nm波长的纳秒激光器,通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验,研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明,通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化,能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片,获得较好的良品率。
关键词
纳秒激光器
532nm波长
玻璃切割
工艺参数
切割效果
Keywords
nanosecond lasers
532nm wavelength
glass cutting
process parameters
cutting effect
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于532nm波长纳秒激光器的玻璃切割工艺研究
沈佳骏
骆公序
潘涌
刘中俊
姜兆华
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015
2
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