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ITO膜方块电阻测试条件的探讨 被引量：4
1
作者 林钰 齐英 +2 位作者 辛荣生 贾晓林 仝奎 《河南教育学院学报（自然科学版）》 2000年第2期34-36,共3页
本文根据半导体材料薄层方块电阻的测试原理，探讨并提出了ＩＴＤ膜方块电 阻的测试条件．
关键词 半导体材料 ITO(铟锡氧化物) 方块电阻 测试条件
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