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抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究
被引量:
5
1
作者
周海
王黛萍
+2 位作者
王兵
陈西府
冶远祥
《机械设计与制造》
北大核心
2009年第8期88-90,共3页
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛...
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
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关键词
蓝宝石
衬底片
化学机械抛光
抛光垫
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职称材料
蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究
被引量:
13
2
作者
周海
姚绍峰
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005年第5期28-31,35,共5页
本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法。在高刚性磨床上,用W 7的金刚石砂轮以f=1μm/r进给量,实现了蓝宝石晶片的浅损伤塑性域...
本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法。在高刚性磨床上,用W 7的金刚石砂轮以f=1μm/r进给量,实现了蓝宝石晶片的浅损伤塑性域磨削。配制了以S iO2溶胶为抛光料的蓝宝石晶片专用抛光液,稳定地获得了无损伤层的RMS小于0.2 nm的超光滑蓝宝石晶片表面。GaN外延生长所需蓝宝石晶片的合理抛光参数是:S iO2的粒子直径为7 nm、浓度为3%、pH=11、压力P=200Pa。
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关键词
蓝宝石
超光滑表面
抛光
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职称材料
蓝宝石晶片质量检测体系研究
被引量:
4
3
作者
周海
姚绍峰
《应用科技》
CAS
2005年第11期21-24,共4页
阐述了蓝宝石晶片质量检测的重要性,根据蓝宝石晶片国家标准和国际质量保证体系,结合目前蓝宝石晶片生产和科研的实际情况,提出了蓝宝石晶片质量检测体系,包括蓝宝石晶片质量检测内容、检测方法和检测设备,通过试验研究,该质量检...
阐述了蓝宝石晶片质量检测的重要性,根据蓝宝石晶片国家标准和国际质量保证体系,结合目前蓝宝石晶片生产和科研的实际情况,提出了蓝宝石晶片质量检测体系,包括蓝宝石晶片质量检测内容、检测方法和检测设备,通过试验研究,该质量检测体系能够满足光电子领域所需的蓝宝石晶片生产要求。
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关键词
蓝宝石晶片
质量检测
检测方法
质量控制
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职称材料
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析
被引量:
5
4
作者
王兵
顾建峰
+4 位作者
何辉辉
汤云霞
周海
陈西府
冶远祥
《现代制造技术与装备》
2008年第4期17-18,25,共3页
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
关键词
蓝宝石
化学机械抛光
运动分析
计算机仿真
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职称材料
化学机械抛光工艺中的抛光垫
被引量:
5
5
作者
周海
王黛萍
+2 位作者
王兵
陈西府
冶远祥
《机械工程与自动化》
2008年第6期73-75,共3页
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修...
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙。
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关键词
化学机械抛光
抛光垫
表面粗糙度
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职称材料
蓝宝石晶片表面净化技术研究
被引量:
4
6
作者
周海
杭寅
姚绍峰
《电子机械工程》
2005年第6期42-45,共4页
阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性。论述了蓝宝石晶片的净化原理。通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
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职称材料
题名
抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究
被引量:
5
1
作者
周海
王黛萍
王兵
陈西府
冶远祥
机构
盐城工学院
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2009年第8期88-90,共3页
基金
江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197)
江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077)
+1 种基金
江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119)
江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX026)
文摘
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底的表面粗糙度;表面开槽的抛光垫可提高抛光效率;表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙;用聚氨酯类抛光垫能够使得蓝宝石衬底的抛光面小于0.3nm的表面粗糙度。
关键词
蓝宝石
衬底片
化学机械抛光
抛光垫
Keywords
Sapphire
Substrate
Chemical mechanical polishing
Polishing pad
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究
被引量:
13
2
作者
周海
姚绍峰
机构
盐城工学院机械工程学院
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005年第5期28-31,35,共5页
基金
江苏省教育厅自然科学研究计划(04KJD430213)
国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA311010)资助
文摘
本文提出以蓝宝石塑性磨削和化学机械抛光为主要手段,以原子力显微镜为主要检测工具,来制备满足光电子领域要求的纳米级超光滑蓝宝石晶片的新方法。在高刚性磨床上,用W 7的金刚石砂轮以f=1μm/r进给量,实现了蓝宝石晶片的浅损伤塑性域磨削。配制了以S iO2溶胶为抛光料的蓝宝石晶片专用抛光液,稳定地获得了无损伤层的RMS小于0.2 nm的超光滑蓝宝石晶片表面。GaN外延生长所需蓝宝石晶片的合理抛光参数是:S iO2的粒子直径为7 nm、浓度为3%、pH=11、压力P=200Pa。
关键词
蓝宝石
超光滑表面
抛光
Keywords
sapphire
super-smooth surface
polishing
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
蓝宝石晶片质量检测体系研究
被引量:
4
3
作者
周海
姚绍峰
机构
盐城工学院机械工程学院
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《应用科技》
CAS
2005年第11期21-24,共4页
基金
江苏省教育厅自然科学研究指导计划资助项目(04KJD430213)国家863计划资助项目(2002AA311010)
文摘
阐述了蓝宝石晶片质量检测的重要性,根据蓝宝石晶片国家标准和国际质量保证体系,结合目前蓝宝石晶片生产和科研的实际情况,提出了蓝宝石晶片质量检测体系,包括蓝宝石晶片质量检测内容、检测方法和检测设备,通过试验研究,该质量检测体系能够满足光电子领域所需的蓝宝石晶片生产要求。
关键词
蓝宝石晶片
质量检测
检测方法
质量控制
Keywords
sapphire wafer
quality inspection
method of inspecting
quality control
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析
被引量:
5
4
作者
王兵
顾建峰
何辉辉
汤云霞
周海
陈西府
冶远祥
机构
盐城工学院
盐城工学院机械工程学院
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《现代制造技术与装备》
2008年第4期17-18,25,共3页
基金
江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077)
江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119)
+1 种基金
江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX011)
盐城市科技局科技发展计划项目(YK2007018)
文摘
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
关键词
蓝宝石
化学机械抛光
运动分析
计算机仿真
Keywords
sapphire, chemistry machinery polishing, movement analysis, computer simulation
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
化学机械抛光工艺中的抛光垫
被引量:
5
5
作者
周海
王黛萍
王兵
陈西府
冶远祥
机构
盐城工学院
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《机械工程与自动化》
2008年第6期73-75,共3页
基金
江苏省科技厅科技攻关项目(BE2007077)
江苏省自然科学基础研究项目(BK2008197)
+1 种基金
江苏省高校自然科学基础研究项目(06KJB460119)
江苏省大学生实践创新训练计划项目(07SSJCX026)
文摘
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响:硬的抛光垫可提高晶片的平面度;软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度;表面开槽和表面粗糙的抛光垫可提高抛光效率;对抛光垫进行适当的修整可使抛光垫表面粗糙。
关键词
化学机械抛光
抛光垫
表面粗糙度
Keywords
chemical mechanical polishing
polishing pad
surface roughness
分类号
TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
蓝宝石晶片表面净化技术研究
被引量:
4
6
作者
周海
杭寅
姚绍峰
机构
盐城工学院机械工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所
兴化祥盛光电子材料公司
出处
《电子机械工程》
2005年第6期42-45,共4页
基金
国家863计划基金资助项目(2002AA311010)
江苏省教育厅自然科学研究计划基金资助项目(04KJD430213)
文摘
阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性。论述了蓝宝石晶片的净化原理。通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求。
关键词
蓝宝石晶片
净化工艺
清洗剂
Keywords
sapphire wafer
cleaning technology
cleaning solution
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
抛光垫在蓝宝石衬底化学机械抛光中的应用研究
周海
王黛萍
王兵
陈西府
冶远祥
《机械设计与制造》
北大核心
2009
5
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职称材料
2
蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究
周海
姚绍峰
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005
13
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职称材料
3
蓝宝石晶片质量检测体系研究
周海
姚绍峰
《应用科技》
CAS
2005
4
下载PDF
职称材料
4
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析
王兵
顾建峰
何辉辉
汤云霞
周海
陈西府
冶远祥
《现代制造技术与装备》
2008
5
下载PDF
职称材料
5
化学机械抛光工艺中的抛光垫
周海
王黛萍
王兵
陈西府
冶远祥
《机械工程与自动化》
2008
5
下载PDF
职称材料
6
蓝宝石晶片表面净化技术研究
周海
杭寅
姚绍峰
《电子机械工程》
2005
4
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职称材料
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