利用EBSD技术分析银薄膜中的晶粒异常生长、孪晶及织构

利用背散射电子衍射(EBSD)技术分析了银薄膜中出现的晶粒异常生长现象,确定了其与孪晶和织构的关系。结果表明,较强〈111〉织构形成时,孪晶面之一可平行于薄膜表面,频繁的孪生不明显改变较强的〈111〉织构,但可能造成出现六角锥体;初步分析认为,六角锥体是一对孪晶,表面是两个晶粒的六个{111}面;当制备或生长条件不能形成强〈111〉织构时,孪晶面不平行于薄膜表面,孪生后的取向继续偏离〈111〉。