机械化学抛光中晶圆材料切削率和非均匀性有限元模型(英文)

提出了一个机械化学抛光中晶圆材料非均匀性的有限元模型.通过分析压力、摩擦力、抛光垫和承载膜的可压缩性对晶圆的应力分布的影响,研究了抛光过程中晶圆厚度的不均匀性.结果证明非均匀剪应力是晶圆厚度变化的一个主要原因这个模型也建立了声发射信号的变化和晶圆厚度不均匀性的关系.通过对晶圆材料切削率的声发射信号监测,证明了实验结果和模型预测值的一致性.

少量聚氨酯泡沫样品从阴燃到有焰燃烧的变化研究(英文)

试验主要观察处于阴燃状态的少量聚氨酯泡沫样品的流速、氧气浓度和辐射热通量对气/固界面的影响。因为此试验研究对象是少量聚氨酯汽沫,所以阴燃蔓延以及转化到有焰燃烧时必须借助于降低热损失并同时增加其氧气浓度。试验中,我们把呈平行六面体的样品竖向放置在风道中。样品的其中三个侧边处在高温状态,第四边暴露在上升气流和辐射中。结果发现,随着气流流速的降低以及氧气浓度的增加,或者增加辐射通量,都会加快其变成有焰燃烧的过程,减少这种变化的延误时间。试验结果表明,炭化部位内部的有焰变化因阴燃作用而出现滞后,这已经通过超声波穿透样品内部得到了证实。笔者这里给出了简化了的分析,证明这种变化可以作为一个气相燃烧程序进行处理。

非制冷红外摄像机有望获得新的用途

一个基于微机电技术的焦平面列阵加上一个可见光读出系统,就可以在8至14μm光谱区提供较低成本的成像。

大型射电望远镜天线主动面补偿研究进展

随着射电望远镜全可动天线的口径扩大与频段提升,天线在观测时的高电性能难以保障,必须采用机械补偿与电子补偿等手段.为确保天线的指向精度与作用距离,有必要对天线赋形反射面的空间位置与几何形状进行调整,即主动面调整,这是补偿天线电性能最有效的手段.为此,本文阐述了国内外有关主动面补偿的应用情况,总结了大型天线主动面补偿的基本原理及适用范围,详细分析了面形调整量计算、主面分块设计、促动器设计、主动面控制系统及面形检测五项关键技术,并对世界上已采用主动主反射面调整的四部大天线进行了对比讨论,最后给出了主动面补偿技术在未来大型射电望远镜天线上的研究方向.