磁控溅射镀铽在烧结钕铁硼中的晶界扩散研究

采用直流磁控溅射法在烧结钕铁硼磁极表面镀覆不同厚度的Tb膜,而后进行加热扩散,研究了扩散对Nd、Tb在磁体内的分布以及磁体性能的影响。结果表明,在剩磁不明显降低的情况下矫顽力有明显的提高。扩散后的样品中主相形成了壳层结构(Nd_(1-x)Tb_x)_2Fe_(14)B,提高了RE2Fe14B的各向异性场; Nd元素存在向表面扩散的行为,Tb随着扩散深度的增加,浓度逐渐降低。