期刊文献+
共找到11篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
电子级二氯二氢硅的气相色谱分析 被引量:2
1
作者 孙福楠 陈国忠 冯庆祥 《辽宁化工》 CAS 1996年第6期50-53,共4页
采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气,用热导检测器,在最佳的色谱条件下,用涂30%硅油(Ⅰ)的101白色担体为固定相,进样量为0.25ml,杂质的最小检测量均小于120×10^(-6),完... 采用国产常规气相色谱仪分析强腐蚀性气体二氯二氢硅。以氢为载气,用热导检测器,在最佳的色谱条件下,用涂30%硅油(Ⅰ)的101白色担体为固定相,进样量为0.25ml,杂质的最小检测量均小于120×10^(-6),完全满足99%的二氯二氢硅的攻关要求。 展开更多
关键词 二氯二氢硅 气相色谱 定量分析
下载PDF
国内外特种气体用阀概况 被引量:1
2
作者 蒋仲先 王军 劳伟仪 《流体工程》 CSCD 北大核心 1991年第8期36-42,14,共8页
一、前言特种气体阀门的特点是与气体本身特性密切相关的,这主要表现在: 1.纯度要求高。目前国内单元气体一般要求4N到5N。有的要求6N。国外有的高达7N。2.洁净度要求高。以集成电路用气为例集成度为64K时(国内已研制成功)。
关键词 气体阀门 阀门
下载PDF
从氯碱尾气中回收氢气的新方法 被引量:1
3
作者 孔祥芝 《辽宁化工》 CAS 1993年第5期260-27,12,共1页
叙述了氯碱厂放空尾气的成分及其分析,提出了从尾气中回收氢气的经济方法,开拓了新的制氢技术途径。该方法可避免氢中微量氯随大量尾气氢的排放造成环境污染,并节约了大量能源。
关键词 氯碱 制氢 回收 废气
下载PDF
二氯二氢硅终端纯化器的研制
4
作者 孙福楠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第6期44-46,共3页
采用化学改性的吸附剂和络合剂,能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明,化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
关键词 二氯二氢硅 吸附性 络合剂 纯化 半导体器件
下载PDF
国外特种气体(含空分产品)进展
5
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1986年第3期1-13,共13页
电子工业生存的基础是原材料。世界新技术革命是以微电子技术、生物工程、新型材料、新能源、激光、光导通讯、海洋工程和空间科学等为主要标志,其中以微电子技术为核心。西方主要工业发达国家电子工业已从“新兴工业”发展成国民经济... 电子工业生存的基础是原材料。世界新技术革命是以微电子技术、生物工程、新型材料、新能源、激光、光导通讯、海洋工程和空间科学等为主要标志,其中以微电子技术为核心。西方主要工业发达国家电子工业已从“新兴工业”发展成国民经济的“基干工业”, 展开更多
关键词 特种气体 空分产品 产量 氢气分离 纯化技术 硅烷
下载PDF
硫氰酸钾在超细卤化银颗粒乳剂中的作用 被引量:1
6
作者 姚永纯 史念慈 《感光科学与光化学》 CSCD 1996年第2期182-185,共4页
硫氰酸钾在超细卤化银颗粒乳剂中的作用姚永纯,史念慈(大连化学工业部光明化工研究所,116031)(华东理工大学精细化工系,上海200237)关键词感光化学,卤化银,乳剂近年来,超细颗粒照相乳剂逐渐受到人们的注意,这是... 硫氰酸钾在超细卤化银颗粒乳剂中的作用姚永纯,史念慈(大连化学工业部光明化工研究所,116031)(华东理工大学精细化工系,上海200237)关键词感光化学,卤化银,乳剂近年来,超细颗粒照相乳剂逐渐受到人们的注意,这是因为全息术和微电子制版材料的广泛应... 展开更多
关键词 照相乳剂 卤化银 化学增感 硫氰酸钾 感光度
下载PDF
氧硫化碳中空气和二氧化碳的气相色谱分析探讨 被引量:1
7
作者 胡光烈 《低温与特气》 CAS 1994年第4期39-41,共3页
采用气相色谱热导法检测了氧硫化碳中的空气和二氧化碳杂质.
关键词 气相色谱 热导检测器 氧硫化碳 空气 二氧化碳
下载PDF
低温可变小温差热导装置研制
8
作者 于翠芬 《低温与特气》 CAS 1988年第2期73-77,共5页
低温可变小温差导热系数测量装置,是采用增大热容量的一种蓄冷器作为可变浮动热沉,利用冷介质的蒸发潜热和自动补偿加热功率,使样品两端温度差控制为10±0.5K,从而可方便地测量液氮至常温范围内任意温度下材料的导热系数,并精确地... 低温可变小温差导热系数测量装置,是采用增大热容量的一种蓄冷器作为可变浮动热沉,利用冷介质的蒸发潜热和自动补偿加热功率,使样品两端温度差控制为10±0.5K,从而可方便地测量液氮至常温范围内任意温度下材料的导热系数,并精确地描述λ-T的依变关系。装置的测量误差<5.5%,标准误差<2%。 展开更多
关键词 小温差 可变 低温 研制 热导 导热系数 测量装置 加热功率 自动补偿 蒸发潜热 标准误差 蓄冷器 热容量 温度差 介质
下载PDF
浅议科研用物资的计划管理
9
作者 邓晓红 《中国流通经济》 北大核心 1991年第6期46-46,共1页
科学技术的发展水平代表一个国家生产力的发展水平,科研用物资的计划管理是科学技术研究顺利进行的物质保证。科学技术研究的发展,生产力现代化水平的提高,科研用物资的高科技、高性能、多品种,小用量、多变性等特点就越来越显著。因此... 科学技术的发展水平代表一个国家生产力的发展水平,科研用物资的计划管理是科学技术研究顺利进行的物质保证。科学技术研究的发展,生产力现代化水平的提高,科研用物资的高科技、高性能、多品种,小用量、多变性等特点就越来越显著。因此,保证科研的顺利进行。 展开更多
关键词 计划管理 发展水平 物资 生产力现代化 科学技术研究 国家生产力 高性能 科研 高科技 多变性
下载PDF
电子气研制国内、外概况及发展趋势
10
作者 曾德辉 《低温与特气》 CAS 1986年第2期1-5,16,共6页
大规模和超大规模集成电路研制与生产过程中,需要使用多品种、高质量的特种气体。这些气体统称电子气。
关键词 电子气 发展趋势 蚀刻气 高纯氨
下载PDF
特种气体用气瓶阀
11
作者 俞利群 《阀门》 北大核心 1995年第1期42-44,共3页
特种气体用气瓶阀化学工业部光明化工研究所俞利群1.前言随着科学技术和生产水平的不断发展,特种气体工业在国民经济的各个领域中显示出越来越重要的作用。随着品种繁多的高纯气和混合气的增多,对作为主要贮运名段之一的气瓶及气瓶... 特种气体用气瓶阀化学工业部光明化工研究所俞利群1.前言随着科学技术和生产水平的不断发展,特种气体工业在国民经济的各个领域中显示出越来越重要的作用。随着品种繁多的高纯气和混合气的增多,对作为主要贮运名段之一的气瓶及气瓶间也提出了新的要求。由于各种条件所... 展开更多
关键词 特种气体 气瓶 气瓶阀 密封
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部