光伏充气膜温室自跟踪发电系统发电量预测

针对光伏充气膜温室自跟踪发电系统提出了一种加入天气预报信息的自适应变异粒子群神经网络的发电量预测算法。首先结合历史发电量数据和气象数据分析了影响光伏充气膜温室自跟踪发电系统发电量的主要因素,建立了加入天气预报的神经网络预测模型,并针对传统神经网络预测模型中基于梯度下降的BP算法收敛慢、易陷入局部最优、训练难收敛等问题,通过自适应变异粒子群算法改进了神经网络。该算法通过将变异环节引入粒子群优化算法,进行隔代进化找到局部最优解。实验结果表明所采用的自适应变异粒子群的神经网络预测算法的全局收敛性能得到了显著提高,能有效避免粒子群优化算法中的早熟收敛问题。

双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用

化学药液供给系统是晶片清洗机的重要功能单元。其特殊的使用环境,要求动力泵应该具备耐化学腐蚀、不产生污染颗粒、外形尺寸小、而且输出的压力较高和流量较大等特性。重点介绍了磁悬浮泵在65 nm超精细清洗机化学药液供给系统中的使用情况,包括磁悬浮泵的结构特点、性能参数、控制方式、双泵串联的控制方法以及自主开发的压力-速度闭环控制器,避免了因为环境电磁干扰对速度信号（0～5 V）采集引入的误差。结果显示,药液压力建立快速、无超调,到达目标压力后泵转速稳定,压力闭环控制精度小于工艺压力设定值的1%。

65nm Cu互连晶片边缘和辐射状污染研究

随着Si片尺寸加大和特征尺寸的缩小,对Si片的洁净程度、表面的化学态以及表面缺陷等要求越来越高。针对300 mm 65 nm Cu互连晶片清洗后表面常出现边缘和辐射状污染的问题。在理论分析的基础上,研究了缩短化学药液喷射臂和去离子水喷射臂的间隔时间,实现不同喷射臂无间隔连续喷射技术,并优化化学药液喷射臂的摆臂速度、轨迹和起始终止角度等参数。采用北京七星华创电子股份有限公司自主研发的300 mm 65 nm Cu互连单片清洗机进行工艺实验,结果表明:清洗后晶片表面无边缘和辐射状污染,清洗后晶片表面临界颗粒直径0.12μm,临界颗粒数每片30个;临界尺寸变化不大于2%。

基于Modbus协议的立式炉电力监测系统

针对300 mm立式炉设备电力安全性、可靠性的需要,设计、实现了一套立式炉电力监测系统。基于Modbus协议,该系统实现上位机实时获取并保存立式炉设备上各段温区的电力数据。保存的电力数据不仅可用于设备的故障诊断,还可用于分析炉体加热器在各温度点上的电学特性。该系统已应用于实际的立式炉设备电力监测。实际效果表明,该系统具有运行可靠、扩展性好、使用方便的特点。

300mm立式炉恒温区测量系统的设计与实现

针对300 mm立式炉设备恒温区测量的需求,设计并实现了一套恒温区测量的软硬件系统。硬件系统由电机、电机驱动器、PLC模块、工控机、热电偶等组成。同时为了更加灵活方便的操作恒温区测量装置,设计了一套完整的控制软件系统,实现热电偶的3种运动控制模式,显示热电偶当前的状态——运动速度、位置、温度,保存温度、位置等数据。恒温区测量实验表明,该系统能满足立式炉设备恒温区测量功能的需求,现已成功应用于300 mm立式氧化炉设备。