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题名烘干烧结炉控制系统的实现
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作者
霍彩云
霍明月
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机构
北京中联科利技术股份有限公司
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出处
《自动化技术与应用》
2009年第2期125-127,共3页
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文摘
本文介绍了烘干烧结炉的结构,给出了基于工控机的各部分控制原理,通过试运行证明设备能很好的应用在太阳能生产线上。
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关键词
烘干烧结炉
工控机
控制系统
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Keywords
drying and clinkering furnace
industrial computer
control system
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分类号
TP29
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种容易实现的硅片分类机
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作者
刘玲玲
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机构
北京中联科利技术股份有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2013年第10期12-17,35,共7页
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文摘
本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机。本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件,实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果。介绍了分类机的试验样机经过试验,已经证明了其主要功能的有效性。因此,此分类机具有产品化可能。
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关键词
机械手
硅片传输
硅片缺口对准
标识识别
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Keywords
Robot
Wafer transfer
Wafer' s notch alignment
Marking recognition
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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