TFT-LCD制程中Zara点状不良的产生与改善研究

研究了TFT-LCD制造工艺中产生Zara Particle的影响因素。采用Mac/Mic,SEM,EDX等检测设备,对Zara点状不良进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,对其产生的原因提出了两种不同的理论观点。通过调整聚酰亚胺薄膜厚度和摩擦工艺参数等一系列措施,产品质量得到了很大的提高,Zara点状不良从改善前的21.2%降低到1.69%,大大提高了产品良率,为以后相关问题的研究奠定了一些理论基础。

边角Zara Domain及其改善研究

研究了大尺寸TFT-LCD显示器制造工艺中LC Pattern对边角Zara domain的影响。实验表明,当大尺寸TFT-LCD显示器制作工艺中LC Pattern中边角处无液晶滴时,边角Zara domain发生率高,当LC Pattern在边角处添加液晶滴时,边角Zara domain发生率降低,通过调整边角处液晶滴到玻璃基板有效面积的距离,到一定范围时边角Zara domain明显降低,通过优化,确定当使用LC Pattern 5时,边角Zara domain发生率最低,为2.5%,经过高温炉处理后,边角Zara domain完全消失。

TFT-LCD制程中成盒工艺段常见不良浅析

本文综述了国内最先进的第8.5代TFT-LCD生产线的成盒工艺。针对聚酰亚胺(Polyimide,PI)配向膜涂覆、摩擦(Rubbing)取向、液晶滴下注入(One Drop Filling,ODF)工艺造成的常见不良进行了阐述与分析,为以后相关问题的研究与解决提供了实际指导。