微显示技术与光学薄膜

讨论了光学薄膜在LCD、LCoS及DLP三种微显示光引擎中的应用。同时也简述了相应的光学薄膜技术的进展。

光学薄膜自动化控制系统简述

光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用。面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求。随着计算机和自动化技术的发展,全自动精密光学镀膜机的出现成为现实。主要介绍全自动真空蒸发镀膜机自动化系统的构成、相关硬件模块和软件内容。

倾斜磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜及其光电性能的研究

利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜。研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍射谱及薄膜表面形貌的影响。结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜具有(002)择优取向,当靶偏角为23°时,薄膜方块电阻最低,可达17Ω/□,电阻率为2.2×10-3Ω·cm,可见光平均透过率在85%以上,最高可在95%以上。紫外截止和近红外反射效果明显。

显示领域中的干涉薄膜与功能薄膜

人们在日常生活中经常接触光学干涉薄膜。如：眼镜片的两个表面镀有多层减反射膜，照相机的镜头组镀有多种减反射膜，钞票防伪的变色油墨中主要成分是干涉薄膜的碎屑……。而在显示领域，则包括更多种类、更为复杂的光学干涉薄膜。本期专栏介绍了光学薄膜的工作原理及一般应用，并讨论了微显示领域中的光学薄膜及其进展。