真空技术在射线源注油中的应用

本设备可对注油机的储油箱、拉模箱、溢油箱提供真空环境并对射线源抽真空和注油,注油过程中对各储油室中的绝缘油进行真空脱气、脱水,以确保注油前的性能指标,使油品达到军标、国标、国际标准。使真空技术在射线源注油技术中得到了很好的应用。通过理论计算合理配置真空系统,通过不断的探索和实践在真空系统中加装了氟里昂挡油装置,氟里昂挡油装置的设置从根本上解决了液体绝缘油在进行真空脱气、脱水过程中的一系列难题。

真空仪器设备应用与发展

真空仪器设备的在部分航天及军工领域的应用与发展。从真空技术的3个方面——真空获得、真空检测、真空应用简要介绍真空技术目前的发展状况。在真空获得方面介绍低真空泵国内外发展状况,高真空泵方面重点介绍分子泵目前的国内发展状况;真空检测方面介绍我国国产产品的发展状况,以及发展的难点及瓶颈。真空应用方面介绍几个航空航天及军工有代表性的领域应用情况。

现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现

真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统。该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能。系统经过了实验室和现场的两步调试,解决了潜在问题。最终生产实践证实了该系统的可行性,实现了工艺要求,满足了客户需求。

镀膜设备真空系统主泵的配置

真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求。

基于可靠性分析的真空镀膜机控制系统研究

通过对真空镀膜机的故障树分析,找出影响整个系统的薄弱环节,为控制系统可靠性设计提供参考。结合镀膜工艺流程,对控制系统软、硬件进行了论证分析和相应的设计,实现了以PLC为核心的真空镀膜机控制系统。该控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能,最终生产实践证实了该系统的可行性和可靠性,满足了工艺要求。

涡旋真空泵——一种具有发展潜力的无油泵

涡旋真空泵是一种新型的无油直排大气机械泵,它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构简单紧凑、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点。本文简要介绍了涡旋泵的发展过程、工作原理、结构特点、设计和工艺技术问题以及目前的生产厂家、产品和市场应用前景。

复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析

本文利用有限元分析软件ANSYS12.0对复合分子泵转子的离心变形与热变形进行了分析。通过施加惯性载荷和温度载荷,得到转子的离心变形与热变形。对不同载荷下分析结果的比较,了解了惯性载荷与温度载荷对分子泵转子变形影响大小。通过分析结果可直观了解分子泵在高速运转过程中转子变形情况,对分子泵设计时工作间隙的选取有重要的参考意义。

非晶硅太阳电池生产线的技术进步

北京北仪创新真空技术有限责任公司(以下简称北仪)自行设计并成功研制了中国国内首条、整机全部国产化的非晶硅薄膜太阳电池生产线;经过多个用户生产线的建设深刻认识到:核心技术的提升必须依靠自主创新;技术进步需要工艺与设备配套研发、交替提升。北仪建设了具有产业化能力的薄膜太阳电池实验中心;创建了含有"‘在线实验室’的可创新薄膜太阳电池生产线",本文介绍了该生产线的核心设备以及关键工艺步骤中"在线实验室"所起的作用。该生产线的核心设备为等离子体增强化学气相沉积系统(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在"在线实验室"的指导下,通过对该系统的稳定性和膜层均匀性的改进以及电池I层厚度和P层材料带隙的优化,得到了性能更优的同质双结非晶硅太阳电池。

YZ-111型压阻真空计的研制

介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号。配以温度补偿技术,保证它的高精度。通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期。

机械优化设计理论方法研究综述

机械优化设计是一种非常重要的现代设计方法,能从众多的设计方案中找出最佳方案,从而大大提高设计的效率和质量。现代工程装备的复杂性使得机械优化设计变得越来越困难,利用新的科学理论探索新的优化设计方法是该研究领域的一个重要方面。在综合大量文献的基础上,阐述机械优化设计的含义、目的及必要性,总结机械优化设计的特点,从优化设计数学模型建立和求解算法两方面探讨现代机械优化设计的理论方法和研究现状,并指出该领域中应当进一步研究的问题和发展方向。

金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响

通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率。

基于Pro/Mechanica的T型工装优化设计分析

对于不断发展中的产品,其使用环境也在发生变化,这对产品的力学环境试验能力提出了更高的要求。为了保障产品顺利完成力学试验验证,需要对工装设计进行严格把关。通过应用Pro/Mechanica对某T型工装的结构设计进行有限元分析、设计参数模态分析和灵敏度分析,并建立以1阶固有频率为目标函数,工装质量为约束的优化数学模型,对参数尺寸进行了最优计算。通过这一优化设计分析,在满足振动技术要求的同时,把产品设计与三维仿真及有限元分析系统有效地结合起来,从而实现了工装设计的高效率、低成本和自动化要求。

等离子体增强化学气相沉积设备的研制

本文介绍非晶硅薄膜太阳能电池生产线的核心设备———等离子体增强化学气相沉积(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)系统,并阐述了其重要地位。非晶硅太阳能电池制造的关键技术是非晶硅薄膜的制备,目前最常见的制备方法是PECVD技术。PECVD技术凭借其低温沉积、可大面积成膜、成膜均匀等特点,在非晶硅薄膜制备方面迅速发展。PECVD系统用于制备非晶硅太阳能电池的关键结构P、I、N硅薄膜层。本文阐述了该设备的结构特点、技术指标、工作原理及工艺过程,对沉积室的结构和配置进行了详细设计计算,非晶硅太阳能电池稳定后的转化效率可达6%。

用于制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积设备的研制

介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极。该设备的极限压力可达5×10-5 Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω.cm。本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过程和结构特点。并对ZnO薄膜的电阻率与参加反应的水蒸汽流量的关系进行了简单介绍。

XJPD-900磁控溅射设备的控制软件编程及工艺试验

本文对XJPD-900磁控溅射生产线的控制系统进行了设计,重点对应用PLC和iFix组态软件实现工艺过程自动控制以及EXCEL表格数据存储等的程序做了设计分析,完成了整机的工艺试验。设备使用证明控制系统界面清晰友善、操作方便,系统稳定可靠、工艺重复性好,达到了设计目的。

聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备

本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题。具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点。在实际生产中取得了良好的效果,有广阔的应用前景。

工件托盘的工艺编制

某工件托盘的板厚较薄,板加工内形为空腔,同时对平面度要求严格。文中介绍了工件托盘的加工工艺,并对在生产中需要注意的关键工艺问题进行了分析。