中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍

快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。

硅集成微型传感器技术简介

现代信息技术的三大核心支柱是传感器技术、通信技术和计算机技术,它们分别完成信息提取、信息传输及信息处理功能。目前,信息传输与信息处理技术已取得突破性进展,然而信息提取技术即传感器技术的发展相对滞后,传统的传感器已很难满足要求。随着微电子技术的高速发展。

新型国产8英寸半导体快速热处理设备

在半导体圆片生产工艺中，快速热处理(也称“热退火”)是半导体圆片经过注入工艺后必不可少的工序之一。半导体圆片快速热处理设备是半导体器件生产的关键设备之一。自从20世纪60年代初，离子注入技术作为新的半导体掺杂工艺以来，大大促进了半导体集成电路的发展。

中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍

快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。1 灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。其由上下两个专用灯管组构成。

半导体设备国产化的一些想法——中国唯一具有自主知识产权的半导体设备开发的启示

国产化的必要性1.1 微电子行业重要性现代社会已进入以微电子技术为核心的信息时代,世界各国均已意识到微电子业的高速、健康发展对工业界的深刻影响。信息产业作为新型产业,经过20世纪后期的迅速发展,现在已成为世界上最强大的一个行业,并将在21世纪加速发展。因此需要微电子行业提供更加坚实的基础和更加完美的条件。半导体制造业是微电子产业的基础和重要支柱之一。