片上微型真空泵的研究进展

近年来,真空电子器件和系统正朝着微型化、片上化和集成化的方向发展,这使真空电子器件具有了更加广阔的应用前景。获得一定的真空环境是真空电子器件正常工作的必要条件,利用真空泵来实现真空的获得是最有效的方法。但是传统的真空泵体积大、质量大,不能满足片上微型真空电子器件的应用要求,因此以获得片上真空环境为目的的芯片级微型真空泵的研究具有重要意义。本文分为压缩型真空泵和吸附型真空泵两部分来介绍片上微型真空泵的研究进展,包括不同类型真空泵的工作原理、性能表现、优缺点等。