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反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
被引量:
1
1
作者
丁海涛
杨振川
+1 位作者
张美丽
闫桂珍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1088-1093,共6页
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电...
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电导率及器件结构和玻璃衬底间隙高度对footing效应的影响.实验结果显示电导率为2 ~4Ω·cm的硅结构比电导率为0.01 ~0.03Ω·cm的硅结构footing效应严重;硅结构和玻璃衬底的间隙为5μm的比间隙为20和50μm的footing效应严重.对这一现象的理论分析认为,被刻蚀的硅的电导率越高,硅结构与玻璃衬底的间隙越大,footing效应越不明显.本文中不同电导率和不同间隙高度的实验对比结果可以为硅微传感器材料类型的选取和器件的优化设计提供参考.
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关键词
footing效应
硅/玻璃键合
反应离子深刻蚀
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职称材料
16×16光开关微镜阵列(英文)
被引量:
2
2
作者
陈庆华
吴文刚
+2 位作者
王子千
闫桂珍
郝一龙
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1496-1503,共8页
设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤...
设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤-微镜-光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%~96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5~90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.
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关键词
光开关
微镜阵列
大角度
静电驱动
微电机系统
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职称材料
题名
反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
被引量:
1
1
作者
丁海涛
杨振川
张美丽
闫桂珍
机构
北京大学微电子学与固体电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1088-1093,共6页
文摘
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2~4和0.01~0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结构过刻蚀的对比,以及对50,20和5μm三组不同间隙高度的器件结构过刻蚀的对比,揭示了单晶硅结构的电导率及器件结构和玻璃衬底间隙高度对footing效应的影响.实验结果显示电导率为2 ~4Ω·cm的硅结构比电导率为0.01 ~0.03Ω·cm的硅结构footing效应严重;硅结构和玻璃衬底的间隙为5μm的比间隙为20和50μm的footing效应严重.对这一现象的理论分析认为,被刻蚀的硅的电导率越高,硅结构与玻璃衬底的间隙越大,footing效应越不明显.本文中不同电导率和不同间隙高度的实验对比结果可以为硅微传感器材料类型的选取和器件的优化设计提供参考.
关键词
footing效应
硅/玻璃键合
反应离子深刻蚀
Keywords
footing effect
silicon on glass
deep reactive ion etching
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
16×16光开关微镜阵列(英文)
被引量:
2
2
作者
陈庆华
吴文刚
王子千
闫桂珍
郝一龙
机构
北京大学微电子学与固体电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1496-1503,共8页
文摘
设计、制造和测试了一种实现16×16MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90°扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤-微镜-光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%~96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5~90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.
关键词
光开关
微镜阵列
大角度
静电驱动
微电机系统
Keywords
optical switch
micro-mirror array
large rotation
electrostatic actuation
MEMS
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
反应离子深刻蚀中硅/玻璃结构footing效应的实验研究(英文)
丁海涛
杨振川
张美丽
闫桂珍
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
下载PDF
职称材料
2
16×16光开关微镜阵列(英文)
陈庆华
吴文刚
王子千
闫桂珍
郝一龙
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
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