1
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碳纳米管场发射电流饱和特性的研究进展 |
林晨
张锦文
金玉丰
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《应用物理》
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2017 |
1
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2
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微机械陀螺冲击特性及可靠性研究 |
何春华
赵前程
杨振川
张大成
闫桂珍
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
4
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3
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基于单幅扫描电镜图像的三维重建技术(英文) |
王琦琦
朱福运
孙明竹
张海霞
赵新
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《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
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2013 |
1
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4
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电容式射频微机械谐振器芯片级测试技术 |
王蕴达
蔡明
谭秀颖
陈兢
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《测试技术学报》
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2008 |
1
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5
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微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜 |
林晨
李义锋
张锦文
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《功能材料》
CAS
CSCD
北大核心
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2021 |
1
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6
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真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 |
谷专元
何春华
陈俊光
赵前程
张大成
闫桂珍
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2016 |
0 |
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7
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用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺 |
韩翔
李轶
吴文刚
闫桂珍
郝一龙
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
11
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8
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基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发 |
何春华
崔健
闫俊杰
林龙涛
王福娟
郭中洋
杨振川
蔡志岗
闫桂珍
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
13
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9
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Pyrex7740玻璃通孔湿法腐蚀技术研究 |
张锦文
杨化冰
蒋巍
王龙
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《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
5
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10
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碳纳米管压力传感器研究进展 |
张锦文
李伟
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《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
6
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11
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表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感(英文) |
吴文刚
李轶
黄风义
韩翔
张少勇
李志宏
郝一龙
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
0 |
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12
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复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文) |
吴文刚
陈庆华
尹冬青
闫桂珍
陈章渊
郝一龙
徐安士
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
0 |
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13
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适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感 |
陈石清
李旦
李修函
张海霞
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
5
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14
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MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 |
谷专元
何春华
何燕华
赵前程
张大成
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《传感器与微系统》
CSCD
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2017 |
11
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15
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CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真 |
王佳
钱梁
杨振川
闫桂珍
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
0 |
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16
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ΣΔ微加速度计中基于脉宽调制的力反馈回路 |
陶呈瑶
邓康发
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2013 |
2
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17
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驻极体式微型发电机的研究进展 |
杨兆辉
王婧
张锦文
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《中国科学:技术科学》
CSCD
北大核心
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2012 |
2
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18
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甘油加入BHF溶液作为牺牲层腐蚀方法的研究(英文) |
王晓宁
杨振川
闫桂珍
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
1
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