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AlGaN PIN结构紫外探测器研制和建模分析 被引量：1
1
作者 周劲 郝一龙 武国英 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期422-425,共4页
紫外探测器在军事高科技和民品市场的紫外通信和成像方面具有很高的价值。探讨了Al GaNpin紫外探测器的制作工艺和材料及结构对器件性能的影响。提出改进
关键词 ALGAN PIN结构 紫外探测器 铝镓氮化合物 性能 材料生长
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