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聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题
被引量:
1
1
作者
陈文雄
徐军
张解东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期411-415,共5页
本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题 ,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性 ,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命。讨论了离子光学柱体的组成与特征 ,束流一束径关...
本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题 ,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性 ,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命。讨论了离子光学柱体的组成与特征 ,束流一束径关系 ,束中电流密度分布 ,以及空间电荷效应等。
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关键词
离子光学
聚焦离子束
FIB
液态金属离子源
LMIS
静电透镜
空间电荷效应
发射机制
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职称材料
题名
聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题
被引量:
1
1
作者
陈文雄
徐军
张解东
机构
北京大学
物理学院电镜室
北京大学资金管理部
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期411-415,共5页
文摘
本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题 ,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性 ,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命。讨论了离子光学柱体的组成与特征 ,束流一束径关系 ,束中电流密度分布 ,以及空间电荷效应等。
关键词
离子光学
聚焦离子束
FIB
液态金属离子源
LMIS
静电透镜
空间电荷效应
发射机制
Keywords
FIB
LMIS
electrostatic lens
space charge effects
分类号
TN14 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题
陈文雄
徐军
张解东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
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