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垂直腔面发射激光器菲涅耳系数矩阵法设计
被引量:
1
1
作者
盖红星
陈建新
+5 位作者
俞波
廉鹏
邓军
李建军
韩军
沈光地
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期44-47,77,共5页
应用薄膜光学的菲涅耳系数矩阵方法,对垂直腔面发射激光器的驻波场分布设计做了深入的研究。计算结果表明,分布布拉格反射镜生长顺序对器件内部驻波分布有重要的影响。同时也说明菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器是一种快速准确...
应用薄膜光学的菲涅耳系数矩阵方法,对垂直腔面发射激光器的驻波场分布设计做了深入的研究。计算结果表明,分布布拉格反射镜生长顺序对器件内部驻波分布有重要的影响。同时也说明菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器是一种快速准确的方法。
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关键词
垂直腔面发射激光器
光学薄膜
驻波场
半导体激光器
下载PDF
职称材料
ICP刻蚀GaP研究及对LED性能的影响
被引量:
1
2
作者
王海玲
郭霞
+1 位作者
周跃平
沈光地
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期154-157,共4页
深入研究了GaP材料在高密度感应耦合等离子体刻蚀系统中刻蚀选择比和刻蚀速率随刻蚀系统的源功率、射频功率、腔室压强的变化规律,即通过改变其中一个参数而保持其它参数不变来得出变化规律;同时将刻蚀GaP材料应用到红光LED制作,即电流...
深入研究了GaP材料在高密度感应耦合等离子体刻蚀系统中刻蚀选择比和刻蚀速率随刻蚀系统的源功率、射频功率、腔室压强的变化规律,即通过改变其中一个参数而保持其它参数不变来得出变化规律;同时将刻蚀GaP材料应用到红光LED制作,即电流阻挡层和表面粗化这两种工艺中,通过大量试验,得到了刻蚀形貌和最优的刻蚀条件,制作阻挡层的最优条件为:BCl3流量比为3/1,ICP功率为600W,RF功率为100W,腔室压强为1.0×10-2Pa;表面粗化时只用BCl3气体刻蚀,表面粗化后LED的光强提高了30%。
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关键词
磷化镓
感应耦合等离子体
刻蚀
下载PDF
职称材料
利用光学薄膜模型研究垂直腔面发射激光器的光学特性
被引量:
1
3
作者
盖红星
郭霞
+7 位作者
邓军
李建军
韩军
邢艳辉
俞波
牛南辉
陈建新
沈光地
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期904-906,909,共4页
可以把垂直腔面发射激光器看作是多层光学薄膜,应用光学薄膜原理对其光学薄膜的特性进行了研究。计算分析了布拉格反射镜和谐振腔模的反射谱受器件结构变化的影响。通过利用菲涅耳系数矩阵法计算,得到了光在垂直腔面发射激光器器件结构...
可以把垂直腔面发射激光器看作是多层光学薄膜,应用光学薄膜原理对其光学薄膜的特性进行了研究。计算分析了布拉格反射镜和谐振腔模的反射谱受器件结构变化的影响。通过利用菲涅耳系数矩阵法计算,得到了光在垂直腔面发射激光器器件结构中形成的驻波场分布。结果表明,利用菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器的光学薄膜是一种快捷准确的方法。
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关键词
垂直腔面发射激光器
光学薄膜
反射谱
驻波场
半导体激光器
原文传递
题名
垂直腔面发射激光器菲涅耳系数矩阵法设计
被引量:
1
1
作者
盖红星
陈建新
俞波
廉鹏
邓军
李建军
韩军
沈光地
机构
北京工业大学光电子技术试验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期44-47,77,共5页
基金
国家自然基金项目(60276033和69889601)
国家"863"高技术计划资助项目
+1 种基金
国家"973"计划资助项目
北京市自然科学基金资助项目(4021001)
文摘
应用薄膜光学的菲涅耳系数矩阵方法,对垂直腔面发射激光器的驻波场分布设计做了深入的研究。计算结果表明,分布布拉格反射镜生长顺序对器件内部驻波分布有重要的影响。同时也说明菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器是一种快速准确的方法。
关键词
垂直腔面发射激光器
光学薄膜
驻波场
半导体激光器
Keywords
Vertical-cavity surface-emitting laser
Optical thin-film
Standing wave field
Semiconductor laser
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
ICP刻蚀GaP研究及对LED性能的影响
被引量:
1
2
作者
王海玲
郭霞
周跃平
沈光地
机构
北京工业大学光电子技术试验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期154-157,共4页
基金
国家自然科学基金(No.60506012)
北京市教育委员会科技发展计划重点项目(KZ200510005003)
+2 种基金
北京市人才强教计划项目(05002015200504)
国家973计划(2006CB604902)
北京市科技新星计划(2005A11)
文摘
深入研究了GaP材料在高密度感应耦合等离子体刻蚀系统中刻蚀选择比和刻蚀速率随刻蚀系统的源功率、射频功率、腔室压强的变化规律,即通过改变其中一个参数而保持其它参数不变来得出变化规律;同时将刻蚀GaP材料应用到红光LED制作,即电流阻挡层和表面粗化这两种工艺中,通过大量试验,得到了刻蚀形貌和最优的刻蚀条件,制作阻挡层的最优条件为:BCl3流量比为3/1,ICP功率为600W,RF功率为100W,腔室压强为1.0×10-2Pa;表面粗化时只用BCl3气体刻蚀,表面粗化后LED的光强提高了30%。
关键词
磷化镓
感应耦合等离子体
刻蚀
Keywords
GaP
inductively coupled plasma
etching
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
利用光学薄膜模型研究垂直腔面发射激光器的光学特性
被引量:
1
3
作者
盖红星
郭霞
邓军
李建军
韩军
邢艳辉
俞波
牛南辉
陈建新
沈光地
机构
北京工业大学光电子技术试验室
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期904-906,909,共4页
基金
国家973计划资助项目(TG2000068302)
国家自然科学基金资助项目(60276033)
北京市教委资助项目(01kJ_014)
文摘
可以把垂直腔面发射激光器看作是多层光学薄膜,应用光学薄膜原理对其光学薄膜的特性进行了研究。计算分析了布拉格反射镜和谐振腔模的反射谱受器件结构变化的影响。通过利用菲涅耳系数矩阵法计算,得到了光在垂直腔面发射激光器器件结构中形成的驻波场分布。结果表明,利用菲涅耳系数矩阵法设计垂直腔面发射激光器的光学薄膜是一种快捷准确的方法。
关键词
垂直腔面发射激光器
光学薄膜
反射谱
驻波场
半导体激光器
Keywords
VCSEL
optical thin-film
reflectivity
standing wave
semiconductor laser
分类号
O484 [理学—固体物理]
TN248 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
垂直腔面发射激光器菲涅耳系数矩阵法设计
盖红星
陈建新
俞波
廉鹏
邓军
李建军
韩军
沈光地
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
2
ICP刻蚀GaP研究及对LED性能的影响
王海玲
郭霞
周跃平
沈光地
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
下载PDF
职称材料
3
利用光学薄膜模型研究垂直腔面发射激光器的光学特性
盖红星
郭霞
邓军
李建军
韩军
邢艳辉
俞波
牛南辉
陈建新
沈光地
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
原文传递
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