在多晶银基片上制备YBCO织构膜的研究

采用ＹＢＣＯ烧结靶平面磁控溅射，原位处理工艺，在多晶银基片上进行镀制高温超导薄膜的研究。经过大量实验，研究了沉积温度、真空度、氩氧比对膜层结构、性能的影响。并在温度为７００℃、真空度为１８Ｐａ、氩氧比为１：１，靶电流为１～２Ａ的条件下，获得了具有ｃ轴织构的ＹＢＣＯ超导薄膜。