高纯气体输送装置的洁净

随着电子工业的发展和大规模集成电路的研制与生产，高纯气体已成为电子工业不可缺少的材料。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度和洁净度要求不同，但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的，总是使半导体产品质量劣化，成品率下降。例如，高纯氮、氢和氩气中有氧和水份时，会使半导体产品表面生成氧化膜；有碳化物时，会使半导体产品发生漏电；若有金属微粒子时，会使半导体产品出现漏电、耐压不良、晶格缺陷和断线等现象；如有其它尘埃粒子，同样会使半导体产品出现晶格缺陷和断线现象。

西德MG公司对钢瓶中剩余气体的处理

半导体用气大多是可燃性、腐蚀性极强的气体。一些带有剩余的毒性、腐蚀性或可燃性气体的钢瓶,由于长期存放或被忽视,加之气候影响而被腐蚀。腐蚀严重者会出现泄漏。可燃性气体的泄漏,能引起爆炸和火灾。毒性气体的泄漏,会给人的健康、生命造成很大的危害。因此,已严重腐蚀的钢瓶中的剩余气体如不及时排放掉,将是严重的危害隐患。