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气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C:H复合膜的影响
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作者 李作文 黄鑫 +5 位作者 廖斌 曹望 周福增 伏开虎 周晗 张旭 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期609-613,共5页
采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H复合薄膜.采用XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了... 采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C:H复合薄膜.采用XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明:C2H2气体流速由20mL·min-1增加到70mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高;气体流速超过70mL·min-1后,C原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49GP,摩擦因数0.25). 展开更多
关键词 磁过滤阴极真空弧(FCVA) nc-ZrC/a-C:H 气体流速
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0.28 MeV Zn离子注入GaInP/GaInAsP量子阱薄膜材料的损伤行为研究
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作者 英敏菊 董西亮 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期384-386,共3页
对于GaAs衬底(100)面上用金属有机物气相淀积(MOCVD)技术外延生长的GaInP/GaInAsP单量子阱,在室温下进行0.28MeV的Zn^+离子注入,选用的注量从1×10^14~5×10^14cm^-2。通过双晶X射线衍射光谱测量,定量地分析了由于离... 对于GaAs衬底(100)面上用金属有机物气相淀积(MOCVD)技术外延生长的GaInP/GaInAsP单量子阱,在室温下进行0.28MeV的Zn^+离子注入,选用的注量从1×10^14~5×10^14cm^-2。通过双晶X射线衍射光谱测量,定量地分析了由于离子注入所引起的晶格内应变。实验结果表明在所选用的注量下,由于离子注入引起的应变小于体材料GaAs的最大非弛豫应变值0.038,说明在这样的注入条件下,注入区的结晶态仍然保持地比较好。在较高注量下应变达到饱和,应变的饱和说明缺陷的产生和复合达到了平衡,从而形成了均衡的应变场分布。 展开更多
关键词 离子注入 晶格应变 X射线衍射光谱
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电子辐照对苎麻纤维结晶度的影响研究 被引量:7
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作者 司戈丽 韩兆磊 侯春宇 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期26-30,共5页
为了降低苎麻纤维的结晶度,利用电子束对苎麻纤维进行了0–2000 kGy范围不同剂量的辐照,采用X射线衍射仪(XRD)和红外光谱(FT-IR)对辐照苎麻纤维进行了测试分析。X射线衍射图谱数字分峰分析得知苎麻纤维结晶度随辐照剂量增加而减小,红外... 为了降低苎麻纤维的结晶度,利用电子束对苎麻纤维进行了0–2000 kGy范围不同剂量的辐照,采用X射线衍射仪(XRD)和红外光谱(FT-IR)对辐照苎麻纤维进行了测试分析。X射线衍射图谱数字分峰分析得知苎麻纤维结晶度随辐照剂量增加而减小,红外光谱分析结晶度指数也随剂量增加而变小。且从红外光谱特征峰分析得知纤维中羰基组分随辐照剂量增加而升高。结果表明,利用电子束辐照可有效降低苎麻纤维的结晶度,而且可通过控制不同剂量的辐照得到苎麻纤维应用所需要的结晶度。 展开更多
关键词 苎麻纤维 电子辐照 结晶度
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TiO_2纳米管上负载纳米铁的制备及其光电性能研究 被引量:3
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作者 梁宏 廖斌 +3 位作者 吴先映 李强 王桂岳 刘安东 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期25-28,共4页
采用阳极氧化法在钛金属表面制备出致密有序的TiO2纳米管阵列,分别利用磁控溅射和电子束辐照沉积技术在其上沉积Fe纳米颗粒以提高其光电性能。利用场发射扫描电镜观察两种不同技术制备的TiO2纳米管阵列负载纳米Fe结构的表面形貌。研究... 采用阳极氧化法在钛金属表面制备出致密有序的TiO2纳米管阵列,分别利用磁控溅射和电子束辐照沉积技术在其上沉积Fe纳米颗粒以提高其光电性能。利用场发射扫描电镜观察两种不同技术制备的TiO2纳米管阵列负载纳米Fe结构的表面形貌。研究比较了不同制备方法得到的样品在紫外光和可见光照射下的光电效应。 展开更多
关键词 TIO2纳米管 磁控溅射 电子束辐照沉积 光电效应
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TiAlN薄膜的磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积制备的研究 被引量:1
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作者 梁昌林 程国安 +1 位作者 郑瑞廷 韩东艳 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期249-253,共5页
采用磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术,在室温、钛合金和Si(100)单晶表面制备了TiAlN薄膜.利用SEM、XRD、EDS和XPS等对薄膜的微观组织结构及化学组分进行了观察测试分析,探讨了磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术的工艺参数对TiAlN... 采用磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术,在室温、钛合金和Si(100)单晶表面制备了TiAlN薄膜.利用SEM、XRD、EDS和XPS等对薄膜的微观组织结构及化学组分进行了观察测试分析,探讨了磁过滤脉冲真空弧等离子反应沉积技术的工艺参数对TiAlN薄膜结构的影响. 展开更多
关键词 TIALN薄膜 梯度过渡层 钛合金 组织结构
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入射粒子与靶相互作用中电子能损的高阶修正 被引量:1
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作者 朱宝珠 张丰收 +5 位作者 罗飞 李旸 石颂剑 王雄 赵强 周宏余 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期342-346,共5页
研究了在较高能入射离子(He离子、12C离子)与靶相互作用中电子能量损失的物理机制,分别探讨了电子能量损失中的相对论修正、壳修正、密度修正以及Barkas效应和Bloch效应等修正的贡献,发现壳修正、Barkas效应修正和Bloch效应修正在能量小... 研究了在较高能入射离子(He离子、12C离子)与靶相互作用中电子能量损失的物理机制,分别探讨了电子能量损失中的相对论修正、壳修正、密度修正以及Barkas效应和Bloch效应等修正的贡献,发现壳修正、Barkas效应修正和Bloch效应修正在能量小于100MeV时是重要的,而相对论修正和密度修正是在能量大于100MeV时起作用。加入各种修正项之后,电子阻止本领的计算结果和实验值(ICRU49)符合更好。 展开更多
关键词 高阶修正 壳修正 密度修正 Barkas效应 Bloch效应
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