强束流钽、碳离子双注入H13钢的研究

选用强碳化物形成元素钽作为金属蒸汽真空弧离子源(metal vapor vacuum arc,简称MEVVA)的阴极,对H13钢进行了钽离子注入表面改性研究。对比了Ta、C离子单注入和Ta、C离子双注入的效果,测量了离子注入表面的成分,考察了注入表面的相结构。在相同的摩擦磨损试验条件下,测量了摩擦因数和磨损量,研究表明,和未注入Ta、C单离子注入相比,Ta、C离子双注入提高了H13钢的耐磨性并大幅度降低了其表面的摩擦因数。双注入区出现的弥散TaC相是耐磨性提高、摩擦因数降低的主要原因。在试验条件下,对H13钢单注入Ta时未发现TaC的形成。