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题名400KV工频高压稳压电源
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机构
北京师范大学物理系加速器组
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出处
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
1977年第2期57-65,共9页
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文摘
无产阶级文化大革命推动了科研工作的迅速发展。为了使倍加器能量稳定,以开展更多的科研工作,我们在原有的基础上制作了400KV工频高压稳压电源。根据工作需要,对电源提出的基本要求是: 1.输出直流电压 Vsc=100KV~400KV连续可调。 2.输出直流电流Isc=3mA(最大负载电流)。 3.输出直流电压稳定度(△Vsc)/(Vsc)<0.1% (当电源电压~220V±10%时)。 4.动态内阻Rsc≤200KΩ。
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关键词
输出直流电压
电源电压
倍压
输出电压
最大负载
共模
差分放大器
稳压电路
纹波
输入电压变化
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分类号
TM4
[电气工程—电器]
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题名离子注入硅的拉曼光谱
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机构
中国科学院半导体所三室
北京师范大学物理系加速器组
石油化工院综合所一室
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出处
《北京师范大学学报(自然科学版)》
CAS
1977年第2期65-75,共11页
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文摘
引言离子注入是近年来研制生产半导体集成电路中采用的一项新技术。用离子注入代替热扩散掺杂有一系列重要的优点(例如掺杂分布的准确控制、均匀性、重复性方面)。但离子注入后通常在注入区中产生晶格损伤,严重的甚至使晶体变成无定型,导致晶体管p-n结漏电流增加、击穿电压降低以及注射效率减小,因此对离子注入后晶格损伤的研究直接和集成电路及器件的生产相关。平行或会聚的光入射在固体的样品上,光子受到晶格原子的非弹性散射,发生能量以及动量的交换,散射光的频率ω8与入射光的频率ωi不同,频率的改变为△ω。
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关键词
拉曼光谱
离子注入
拉曼散射
半导体集成电路
非弹性散射
光入射
击穿电压
受激布里渊散射
热扩散
散射光强度
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分类号
TN3
[电子电信—物理电子学]
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