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石英管内表面镀膜方法的研究 被引量:1
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作者 温昕晖 马诗龙 李一凡 《真空与低温》 2000年第3期181-183,共3页
给出了在石英玻璃管内表面上镀膜的一种方法,并对镀膜工艺参数和影响膜质量的一些因素进行了讨论。
关键词 石英管 镀膜 膜质量 内表面
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