微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理

简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用。

内燃结构氢氧合成氧化不均匀的原因及对策

从流体力学和传热学的角度，分析了在大口径氧化炉中，采用内燃结构进行氢氧合成氧化，造成硅片氧化层厚度不均匀的原因。并根据流体力学和传热学的原理，提出了解决这一问题的方法──设计了扰流隔热装置。实验表明，这一装置的使用，使内燃结构氢氧合成氧化的均匀度达到优于±２．５％的水平。

微机电系统与微加速度计

本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统 。