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新型热电材料综述
被引量:
15
1
作者
王超
张蕊
+10 位作者
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期133-150,共18页
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历...
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历程和研究现状,包括碲化物、硫族层状化合物、氧化物、笼合物,Half-Heusler材料,方钴矿材料、Zintl相热电材料以及铜硫族类材料。另外,对热电材料的应用做了一些归纳总结,希望能扩展热电器件的应用,实现未来的规模产业化。
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关键词
新型热电材料
功率因子
SEEBECK系数
热电器件
热电性能
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职称材料
氮化物外延生长在线监测技术
被引量:
3
2
作者
王超
张泽展
+6 位作者
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期650-658,共9页
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材...
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求,MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提,面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况,并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。
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关键词
曲率测量
生长信息
红外测温
MOCVD在线监测技术
光致发光
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职称材料
基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
3
作者
严冬
李国光
+4 位作者
刘涛
熊伟
李成敏
郭青杨
叶甜春
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期727-730,共4页
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对...
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
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关键词
S01
反射测定法
膜厚检测
形貌
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职称材料
一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
被引量:
1
4
作者
崔高增
刘涛
+2 位作者
李国光
郭霞
夏洋
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第6期89-94,共6页
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对...
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
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关键词
测量
双片波片补偿器
光轴
光谱椭偏仪
偏差角度
消色差
原文传递
题名
新型热电材料综述
被引量:
15
1
作者
王超
张蕊
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
机构
电子
科技
大学微电子与固体电子学院
电子
科技
大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
广东省中科宏微半导体设备
有限公司
中国科学院半导体研究所
中微半导体设备(上海)
有限公司
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期133-150,共18页
基金
国家自然科学基金(51672037
61604031)
+4 种基金
四川省科技计划(2014GZ0151
2016JQ0022)
中央高校基本科研业务费(ZYGX2013J115
ZYGX 2014J087
ZYGX2015J029)
文摘
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历程和研究现状,包括碲化物、硫族层状化合物、氧化物、笼合物,Half-Heusler材料,方钴矿材料、Zintl相热电材料以及铜硫族类材料。另外,对热电材料的应用做了一些归纳总结,希望能扩展热电器件的应用,实现未来的规模产业化。
关键词
新型热电材料
功率因子
SEEBECK系数
热电器件
热电性能
Keywords
new thermoelectric materials
power factor
seebeck coefficient
thermoelectric devices
thermoelectric properties
分类号
TN415 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
氮化物外延生长在线监测技术
被引量:
3
2
作者
王超
张泽展
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
机构
电子
科技
大学微电子与固体电子学院
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期650-658,共9页
基金
四川省科技计划(2014GZ0151
2016JQ0022)
中央高校基本科研业务费(ZYGX2013J115)
文摘
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求,MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提,面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况,并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。
关键词
曲率测量
生长信息
红外测温
MOCVD在线监测技术
光致发光
Keywords
curvature measurement
growth information
infrared temperature measurement
in-situ monitoring technology for MOCVD
PL
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
3
作者
严冬
李国光
刘涛
熊伟
李成敏
郭青杨
叶甜春
机构
中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期727-730,共4页
基金
国家02重大专项资助项目(2011ZX02101-005)
文摘
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。
关键词
S01
反射测定法
膜厚检测
形貌
Keywords
SOI
Refleetometry
Film thickness measurement
Topography
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
被引量:
1
4
作者
崔高增
刘涛
李国光
郭霞
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
北京
工业大学电子信息与控制工程学院
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第6期89-94,共6页
基金
中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)资助课题
文摘
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
关键词
测量
双片波片补偿器
光轴
光谱椭偏仪
偏差角度
消色差
Keywords
measurement
biplate compensator
optical axis
spectroscopic ellipsometer
misalignment angle
achromatism
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型热电材料综述
王超
张蕊
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
15
下载PDF
职称材料
2
氮化物外延生长在线监测技术
王超
张泽展
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
下载PDF
职称材料
3
基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
严冬
李国光
刘涛
熊伟
李成敏
郭青杨
叶甜春
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
下载PDF
职称材料
4
一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
崔高增
刘涛
李国光
郭霞
夏洋
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013
1
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