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CVI炉的热场设计
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作者 康志伯 《新技术新工艺》 2019年第8期40-44,共5页
热场是CVI炉的核心部件,热场对化学气相渗透沉积工艺的完成起着很重要的作用。一种新型CVI炉热场由下列方法设计出:对于加热器的设计,首先根据使用条件估算出加热器的额定功率;其次,根据使用要求及工作环境,选择合适的加热器和保温层材... 热场是CVI炉的核心部件,热场对化学气相渗透沉积工艺的完成起着很重要的作用。一种新型CVI炉热场由下列方法设计出:对于加热器的设计,首先根据使用条件估算出加热器的额定功率;其次,根据使用要求及工作环境,选择合适的加热器和保温层材料、结构及布置方式;然后,根据预制体尺寸及现有理论计算出加热器和保温层的基本尺寸,并进行校核计算。对于隔热层的设计,首先根据设计要求及工作环境,选择合适的结构及材料;其次,根据热场的基本理论及加热器的尺寸,设计出隔热层的尺寸;然后,对设计结果进行校核计算。最后,核算整个炉体升温阶段的热平衡,保证CVI炉所需功率。试验表明,所设计的圆筒鼠笼型加热器热场能够保质保量地完成预制体的沉积,该热场已成功应用于实际生产中。 展开更多
关键词 CVI炉 热场 石墨加热器 保温层
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