可录光盘行业工艺环境控制

为了适应精密加工和超精密加工达到微米级甚至纳 米级加工要求,必须对它的支持环境严格控制。 这里的支持环境是指精密加工和超精密加工工艺系统 和工人操作经验及技术水平之外必须严格控制的各个 外部环境。它主要包括:空气环境,热环境,振动环 境,声环境,光环境和电场、电磁场环境等。对支持 环境方面所需要的控制品质要求参见表1-1构成支持 环境及控制要求。