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MPCVD方法制备军用光学元件纳米金刚石膜 被引量：6
1
作者 王小兵 吝君瑜 +4 位作者 王古常 孙斌 程勇 吕反修 杨武保 《光学技术》 CAS CSCD 2004年第2期184-186,共3页
介绍了用MPCVD方法制备纳米金刚石膜的工艺。用MPCVD方法实验研究了在光学玻璃上镀纳米金刚石膜:膜层厚度为0 4551μm,粒度小于200nm,表面粗糙度小于29 5nm,最大透过率为80%;平均显微硬度为34 9GPa,平均体弹性模量为238 9GPa,均接近天... 介绍了用MPCVD方法制备纳米金刚石膜的工艺。用MPCVD方法实验研究了在光学玻璃上镀纳米金刚石膜:膜层厚度为0 4551μm,粒度小于200nm,表面粗糙度小于29 5nm,最大透过率为80%;平均显微硬度为34 9GPa,平均体弹性模量为238 9GPa,均接近天然金刚石的力学性能。与衬底材料表面应力-2 78GPa相比,具有较好的抗压和耐磨效果。 展开更多
关键词 军用光学元件 纳米金刚石膜 MPCVD 制备 微波等离子体辅助化学气相沉积
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具有广阔应用前景的纳米金刚石膜 被引量：17
2
作者 吕反修 《物理》 CAS 北大核心 2003年第6期383-390,共8页
纳米金刚石膜的制备、表征和应用研究已经成为CVD金刚石膜研究领域的一个新的热点 .文章重点介绍了Gruen等人在贫氢和无氢环境中制备纳米金刚石膜的开创性工作 ,并和在富氢气氛中制备的纳米金刚石膜进行了对比评述 .对纳米金刚石膜的表... 纳米金刚石膜的制备、表征和应用研究已经成为CVD金刚石膜研究领域的一个新的热点 .文章重点介绍了Gruen等人在贫氢和无氢环境中制备纳米金刚石膜的开创性工作 ,并和在富氢气氛中制备的纳米金刚石膜进行了对比评述 .对纳米金刚石膜的表征技术和应用前景进行了讨论 . 展开更多
关键词 纳米金刚石膜 薄膜制备 表征技术 化学气相沉积 富氢气氛 无氢环境
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