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新型电磁控大弧源多弧离子镀膜机正在研制中
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《中国表面工程》 EI CAS CSCD 1990年第3期39-40,共2页
多弧离子镀膜技术是当前最先进的离子镀技术之一,它是利用冷场致发射电弧提供高密度金属离子流,是各种离子镀技术中金属离化卒最高的技术,有利于在高速钢刀县上沉积氮化钛超硬涂层。1985— 1986年我国引进的九台刀具离子镀设备中有七台... 多弧离子镀膜技术是当前最先进的离子镀技术之一,它是利用冷场致发射电弧提供高密度金属离子流,是各种离子镀技术中金属离化卒最高的技术,有利于在高速钢刀县上沉积氮化钛超硬涂层。1985— 1986年我国引进的九台刀具离子镀设备中有七台是多弧离子镀设备。 展开更多
关键词 多弧离子镀 场致发射 膜技术 氮化钛 超硬 离化 生产周期 沉积氮 材料工程 靶面
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